Semiceraer stolt af því að kynna30mm áli nítríð skúffu undirlag, efsta flokks efni sem er hannað til að mæta ströngum kröfum nútíma rafeinda- og sjóntækjabúnaðar. Álnítríð (AlN) hvarfefni eru þekkt fyrir framúrskarandi hitaleiðni og rafmagns einangrunareiginleika, sem gerir þau að kjörnum vali fyrir afkastamikil tæki.
Helstu eiginleikar:
• Óvenjuleg hitaleiðni: The30mm áli nítríð skúffu undirlagstátar af hitaleiðni allt að 170 W/mK, umtalsvert hærri en önnur undirlagsefni, sem tryggir skilvirka hitaleiðni í notkun með miklum krafti.
•Há rafmagns einangrun: Með framúrskarandi rafmagns einangrunareiginleikum lágmarkar þetta undirlag víxl- og merkjatruflanir, sem gerir það tilvalið fyrir RF og örbylgjuofn.
•Vélrænn styrkur: The30mm áli nítríð skúffu undirlagbýður upp á yfirburða vélrænan styrk og stöðugleika, sem tryggir endingu og áreiðanleika jafnvel við ströng notkunarskilyrði.
•Fjölhæf forrit: Þetta undirlag er fullkomið til notkunar í aflmiklum LED, leysidíóðum og RF íhlutum, sem gefur traustan og áreiðanlegan grunn fyrir krefjandi verkefni þín.
•Nákvæmni tilbúningur: Semicera tryggir að hvert undirlag fyrir oblátur sé framleitt með mestu nákvæmni, sem býður upp á samræmda þykkt og yfirborðsgæði til að uppfylla ströng staðla háþróaðra rafeindatækja.
Hámarkaðu skilvirkni og áreiðanleika tækjanna þinna með Semicera's30mm áli nítríð skúffu undirlag. Undirlag okkar er hannað til að skila yfirburða afköstum, sem tryggir að rafeinda- og sjónræna kerfin þín virki sem best. Treystu Semicera fyrir háþróaða efni sem leiða iðnaðinn í gæðum og nýsköpun.
Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
Kristal færibreytur | |||
Fjöltýpa | 4H | ||
Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
Rafmagnsbreytur | |||
Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Vélrænar breytur | |||
Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
Þykkt | 350±25 μm | ||
Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
Aukaíbúð | Engin | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Uppbygging | |||
Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Gæði að framan | |||
Framan | Si | ||
Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
Lasermerking að framan | Engin | ||
Aftur gæði | |||
Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Umbúðir | |||
Umbúðir | Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. |