4 tommu N-gerð SiC undirlag

Stutt lýsing:

Semicera's 4 tommu N-gerð SiC undirlag eru vandlega hönnuð fyrir framúrskarandi rafmagns- og hitauppstreymi í rafeindatækni og hátíðniforritum. Þessi hvarfefni bjóða upp á framúrskarandi leiðni og stöðugleika, sem gerir þau tilvalin fyrir næstu kynslóð hálfleiðaratækja. Treystu Semicera fyrir nákvæmni og gæði í háþróuðum efnum.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Semicera's 4 tommu N-gerð SiC undirlag eru unnin til að uppfylla ströng staðla hálfleiðaraiðnaðarins. Þessi hvarfefni veita afkastamikinn grunn fyrir margs konar rafeindanotkun og bjóða upp á einstaka leiðni og hitauppstreymi.

N-gerð lyfjanotkun þessara SiC hvarfefna eykur rafleiðni þeirra, sem gerir þau sérstaklega hentug til notkunar með miklum krafti og hátíðni. Þessi eiginleiki gerir ráð fyrir skilvirkri notkun tækja eins og díóða, smára og magnara, þar sem lágmarka orkutap er lykilatriði.

Semicera notar háþróaða framleiðsluferla til að tryggja að hvert undirlag sýni framúrskarandi yfirborðsgæði og einsleitni. Þessi nákvæmni er mikilvæg fyrir notkun í rafeindatækni, örbylgjuofni og annarri tækni sem krefst áreiðanlegrar frammistöðu við erfiðar aðstæður.

Að setja N-gerð SiC hvarfefni Semicera inn í framleiðslulínuna þína þýðir að þú getur notið góðs af efnum sem bjóða upp á yfirburða hitaleiðni og rafmagnsstöðugleika. Þessi hvarfefni eru tilvalin til að búa til íhluti sem krefjast endingar og skilvirkni, eins og aflskiptakerfi og RF magnara.

Með því að velja Semicera's 4 tommu N-gerð SiC undirlag ertu að fjárfesta í vöru sem sameinar nýstárlega efnisvísindi og vandað handverk. Semicera heldur áfram að leiða iðnaðinn með því að veita lausnir sem styðja við þróun háþróaðrar hálfleiðaratækni, sem tryggir mikla afköst og áreiðanleika.

Atriði

Framleiðsla

Rannsóknir

Dúlla

Kristal færibreytur

Fjöltýpa

4H

Villa í yfirborðsstefnu

<11-20 >4±0,15°

Rafmagnsbreytur

Dopant

n-gerð köfnunarefnis

Viðnám

0,015-0,025 ohm·cm

Vélrænar breytur

Þvermál

150,0±0,2 mm

Þykkt

350±25 μm

Aðal flata stefnumörkun

[1-100]±5°

Aðal flat lengd

47,5±1,5 mm

Aukaíbúð

Engin

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Boga

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Undið

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Grófleiki að framan (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Uppbygging

Örpípuþéttleiki

<1 ea/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Óhreinindi úr málmi

≤5E10atóm/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Gæði að framan

Framan

Si

Yfirborðsfrágangur

Si-andlit CMP

Agnir

≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm)

NA

Rispur

≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál

Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun

Engin

NA

Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur

Engin

Fjölgerð svæði

Engin

Uppsafnað flatarmál≤20%

Uppsafnað flatarmál≤30%

Lasermerking að framan

Engin

Aftur gæði

Afturfrágangur

C-andlit CMP

Rispur

≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Bakgallar (kantflísar/innskot)

Engin

Grófur bak

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermerking að aftan

1 mm (frá efstu brún)

Edge

Edge

Chamfer

Umbúðir

Umbúðir

Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum

Multi-wafer kassettu umbúðir

*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD.

tækni_1_2_stærð
SiC oblátur

  • Fyrri:
  • Næst: