Kísilkarbíð (SiC) einkristalla efni hefur stóra bandbilsbreidd (~Si 3 sinnum), mikla hitaleiðni (~Si 3,3 sinnum eða GaAs 10 sinnum), háan rafeindamettunarflæðishraða (~Si 2,5 sinnum), hár niðurbrot rafmagns sviði (~Si 10 sinnum eða GaAs 5 sinnum) og aðrir framúrskarandi eiginleikar.
Semicera orka getur veitt viðskiptavinum hágæða leiðandi (leiðandi), hálfeinangrandi (hálfeinangrandi), HPSI (High Purity hálfeinangrandi) sílikonkarbíð undirlag; Að auki getum við útvegað viðskiptavinum einsleitar og misleitar kísilkarbíð þekjublöð; Við getum líka sérsniðið epitaxial blaðið í samræmi við sérstakar þarfir viðskiptavina og það er ekkert lágmarks pöntunarmagn.
| Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
| Kristal færibreytur | |||
| Fjöltýpa | 4H | ||
| Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Rafmagnsbreytur | |||
| Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
| Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Vélrænar breytur | |||
| Þvermál | 99,5 - 100 mm | ||
| Þykkt | 350±25 μm | ||
| Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
| Aðal flat lengd | 32,5±1,5 mm | ||
| Secondary flat staða | 90° CW frá aðalíbúð ±5°. sílikon andlitið upp | ||
| Secondary flat lengd | 18±1,5 mm | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LTV | ≤2 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | NA |
| Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Undið | ≤20 μm | ≤45 μm | ≤50 μm |
| Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Uppbygging | |||
| Örpípuþéttleiki | ≤1 ea/cm2 | ≤5 ea/cm2 | ≤10 ea/cm2 |
| Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Gæði að framan | |||
| Framan | Si | ||
| Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
| Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
| Rispur | ≤2ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
| Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
| Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | NA | |
| Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
| Lasermerking að framan | Engin | ||
| Aftur gæði | |||
| Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
| Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
| Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
| Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Umbúðir | |||
| Umbúðir | Innri pokinn er fylltur með köfnunarefni og ytri pokinn er ryksugaður. Multi-wafer kassetta, epi-tilbúin. | ||
| *Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. | |||
