Sérsniðin hálfleiðara ICP bakki (æting)

Stutt lýsing:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. er leiðandi birgir sem sérhæfir sig í oblátum og háþróuðum rekstrarvörum fyrir hálfleiðara.Við erum staðráðin í að veita hágæða, áreiðanlegar og nýstárlegar vörur til hálfleiðaraframleiðslu,ljósvakaiðnaðurog öðrum tengdum sviðum.

Vörulínan okkar inniheldur SiC/TaC húðaðar grafítvörur og keramikvörur, sem nær yfir ýmis efni eins og kísilkarbíð, kísilnítríð og áloxíð og o.s.frv.

Sem traustur birgir skiljum við mikilvægi rekstrarvara í framleiðsluferlinu og við erum staðráðin í að afhenda vörur sem uppfylla ströngustu gæðastaðla til að uppfylla þarfir viðskiptavina okkar.

 

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Vörulýsing

Fyrirtækið okkar veitir SiC húðunarferlisþjónustu með CVD aðferð á yfirborði grafíts, keramik og annarra efna, þannig að sérstakar lofttegundir sem innihalda kolefni og kísil hvarfast við háan hita til að fá mikla hreinleika SiC sameindir, sameindir sem eru settar á yfirborð húðuðu efnanna, myndar SIC hlífðarlag.

Helstu eiginleikar:

1. Oxunarþol við háan hita:

oxunarþolið er enn mjög gott þegar hitastigið er allt að 1600 C.

2. Hár hreinleiki: gert með efnagufuútfellingu við háhita klórunarskilyrði.

3. Rofþol: mikil hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.

4. Tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.

3

Helstu upplýsingar um CVD-SIC húðun

SiC-CVD eiginleikar

Kristal uppbygging

FCC β fasi

Þéttleiki

g/cm ³

3.21

hörku

Vickers hörku

2500

Kornastærð

μm

2~10

Efnafræðilegur hreinleiki

%

99.99995

Hitageta

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimation Hitastig

2700

Felexural styrkur

MPa (RT 4 punkta)

415

Young's Modulus

GPA (4pt beygja, 1300 ℃)

430

Varmaþensla (CTE)

10-6K-1

4.5

Varmaleiðni

(W/mK)

300


  • Fyrri:
  • Næst: