Kynning á kísilkarbíðhúð
Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Carbide (SiC) húðunin okkar er mjög endingargott og slitþolið lag, tilvalið fyrir umhverfi sem krefjast mikillar tæringar- og hitaþols.Kísilkarbíð húðuner borið á í þunnum lögum á ýmis undirlag í gegnum CVD ferlið, sem býður upp á frábæra frammistöðueiginleika.
Helstu eiginleikar
● -Einstakur hreinleiki: Státar af ofurhreinri samsetningu af99,99995%, okkarSiC húðunlágmarkar mengunaráhættu í viðkvæmum hálfleiðaraaðgerðum.
● -Framúrskarandi viðnám: Sýnir framúrskarandi viðnám bæði gegn sliti og tæringu, sem gerir það fullkomið fyrir krefjandi efna- og plasmastillingar.
● -Hátt hitaleiðni: Tryggir áreiðanlega afköst við mikla hitastig vegna framúrskarandi hitaeiginleika.
● -Víddarstöðugleiki: Viðheldur uppbyggingu heilleika yfir breitt hitastig, þökk sé lágum varmaþenslustuðli.
● -Aukin hörku: Með hörku einkunnina40 GPa, SiC húðun okkar þolir verulega högg og núning.
● -Slétt yfirborðsáferð: Veitir spegillíkan áferð, dregur úr agnamyndun og eykur skilvirkni í rekstri.
Umsóknir
Semicera SiC húðuneru notuð á ýmsum stigum hálfleiðaraframleiðslu, þar á meðal:
● -LED flísframleiðsla
● -Polysilikon Framleiðsla
● -Hálfleiðari kristalvöxtur
● -Silicon og SiC Epitaxy
● -Varmaoxun og dreifing (TO&D)
Við útvegum SiC-húðaða íhluti sem eru gerðir úr hástyrktu jafnstöðugrafíti, koltrefjastyrktu kolefni og 4N endurkristölluðu kísilkarbíði, sérsniðið fyrir vökvakljúfa kjarnaofna,STC-TCS breytir, CZ eininga endurskinsmerki, SiC oblátabátur, SiCwafer paddle, SiC oblátur rör og oblátur burðarefni sem notuð eru í PECVD, sílikon epitaxy, MOCVD ferlum.
Fríðindi
● -Framlengdur líftími: Dregur verulega úr tíma í niðri í búnaði og viðhaldskostnaði, sem eykur heildarframleiðslu skilvirkni.
● -Bætt gæði: Nær háhreinu yfirborði sem er nauðsynlegt fyrir hálfleiðaravinnslu og eykur þannig vörugæði.
● -Aukin skilvirkni: Hagræðir hitauppstreymi og CVD ferla, sem leiðir til styttri lotutíma og meiri afraksturs.
Tæknilýsing
● -Strúktúr: FCC β fasa fjölkristallað, aðallega (111) stillt
● -Þéttleiki: 3,21 g/cm³
● -Hörku: 2500 Vickes hörku (500g álag)
● -Brotaþol: 3,0 MPa·m1/2
● -Hitaþenslustuðull (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -teygjustuðull(1300 ℃):435 GPa
● -Dæmigert kvikmyndaþykkt:100 µm
● -Yfirborðsgrófleiki:2-10 µm
Hreinleikagögn (mæld með ljómaúthleðslu massa litrófsgreiningu)
| Frumefni | ppm | Frumefni | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
