Semicera er stolt af því að kynnaGa2O3Undirlag, háþróaða efni sem er í stakk búið til að gjörbylta rafeindatækni og ljóseindatækni.Gallíumoxíð (Ga2O3) undirlageru þekktir fyrir ofurbreitt bandbil sitt, sem gerir þá tilvalið fyrir aflmikil og hátíðnitæki.
Helstu eiginleikar:
• Ofurbreitt bandgap: Ga2O3 býður upp á um það bil 4,8 eV bandbil, sem eykur verulega getu þess til að takast á við háspennu og hitastig samanborið við hefðbundin efni eins og sílikon og GaN.
• Há bilunarspenna: Með óvenjulegu bilunarsviði erGa2O3Undirlager fullkomið fyrir tæki sem þurfa háspennunotkun, sem tryggir meiri skilvirkni og áreiðanleika.
• Hitastöðugleiki: Yfirburða hitastöðugleiki efnisins gerir það hentugt fyrir notkun í erfiðu umhverfi, viðheldur frammistöðu jafnvel við erfiðar aðstæður.
• Fjölbreytt forrit: Tilvalið til notkunar í afköstum rafstraumum, útfjólubláum sjónrænum tækjum og fleira, sem gefur traustan grunn fyrir háþróuð rafeindakerfi.
Upplifðu framtíð hálfleiðaratækni með Semicera'sGa2O3Undirlag. Hannað til að mæta vaxandi kröfum um rafeindatækni með miklum krafti og hátíðni, setur þetta undirlag nýjan staðal fyrir frammistöðu og endingu. Treystu Semicera til að koma með nýstárlegar lausnir fyrir erfiðustu forritin þín.
| Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
| Kristal færibreytur | |||
| Fjöltýpa | 4H | ||
| Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Rafmagnsbreytur | |||
| Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
| Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Vélrænar breytur | |||
| Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
| Þykkt | 350±25 μm | ||
| Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
| Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
| Aukaíbúð | Engin | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Uppbygging | |||
| Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Gæði að framan | |||
| Framan | Si | ||
| Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
| Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
| Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
| Appelsínubörkur/pittir/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
| Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
| Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
| Lasermerking að framan | Engin | ||
| Aftur gæði | |||
| Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
| Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA | |
| Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
| Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Umbúðir | |||
| Umbúðir | Epi-tilbúið með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
| *Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. | |||
