Grafít susceptor með kísilkarbíð húðun, 6 stykki 6 tommu obláta burðarefni

Grafít sceptorinn meðKísilkarbíð húðun, 6 stykki6 tommu oblátu burðarefnifrá semicera býður upp á einstaka endingu og hitaleiðni fyrir hágæða epitaxial vöxt forrit. Semicera sérhæfir sig í háþróaðri susceptors hönnuð til að auka ferla einsSi EpitaxyogSiC Epitaxy, sem tryggir áreiðanlega frammistöðu í krefjandi hálfleiðaraumhverfi.

Þessi susceptor er sérstaklega hannaður til notkunar meðMOCVD susceptorkerfi og býður upp á samhæfni við ýmsa flutningsaðila eins og PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier og RTP Carrier. Það er tilvalið fyrir einkristallaðan sílikonframleiðslu og LED Epitaxial susceptor uppsetningar, sem býður upp á fjölhæfni í mismunandi stillingum, þar á meðal tunnu susceptor og Pancake sceptor hönnun.

Grafítneminn með kísilkarbíðhúðun styður einnig notkun í sólarorkugeiranum með samþættingu sinni við ljósvökvahluta og skarar fram úr í GaN á SiC Epitaxy ferlum. 6 tommu oblátur burðargeta þess tryggir mikla afköst, sem gerir það að mikilvægu tæki fyrir framleiðendur í hálfleiðara og ljósvakaiðnaði.