High Purity SiC húðuð grafítskúffu burðarefni

High Purity SiC húðuð grafít Wafer Carrier Susceptor Valin mynd

Stutt lýsing:

High Purity SiC Carrier Susceptor frá Semicera er hannaður fyrir háþróaða hálfleiðara og LED framleiðsluferli, sem býður upp á framúrskarandi hitastöðugleika og yfirburða afköst við háan hita. Framleitt úr háhreinu kísilkarbíði, tryggir þessi susceptor skilvirka hitadreifingu, bætta ferli einsleitni og aukna endingu. Tilvalið fyrir MOCVD, CVD og önnur háhita forrit, SiC burðarþolinn frá Semicera veitir áreiðanlega og langvarandi afköst, sem hjálpar til við að hámarka framleiðslu skilvirkni og vörugæði.

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Lýsing

Kísilkarbíð keramik hefur framúrskarandi vélræna eiginleika við stofuhita, svo sem mikinn styrk, mikla hörku, mikla teygjustuðul osfrv., það hefur einnig framúrskarandi háhitastöðugleika eins og mikla hitaleiðni, lágan varmaþenslustuðul og góðan sérstakan stífleika og sjón. vinnsluárangur.
Þeir eru sérstaklega hentugir til að framleiða nákvæmni keramikhluta fyrir samþættan hringrásarbúnað eins og steinþurrkavélar, aðallega notaðar til að framleiða SiC burðarefni / susceptor, SiC oblátubát, sogskífu, vatnskæliplötu, nákvæmni mælingarreflektor, rist og aðra keramik burðarhluta.

flytjandi 2

flytjandi 3

flytjandi 4

Kostir

Háhitaþol: eðlileg notkun við 1800 ℃
Hár hitaleiðni: jafngildir grafítefni
Há hörku: hörku næst demant, bórnítríð
Tæringarþol: sterk sýra og basa hafa enga tæringu, tæringarþolið er betra en wolframkarbíð og súrál
Létt þyngd: lítill þéttleiki, nálægt áli
Engin aflögun: lágur varmaþenslustuðull
Hitaáfallsþol: það þolir miklar hitabreytingar, þolir hitaáfall og hefur stöðugan árangur
Kísilkarbíð burðarefni eins og sic ets burðarefni, ICP ets susceptor, eru mikið notaðar í hálfleiðurum CVD, tómarúm sputtering o.fl. Við getum veitt viðskiptavinum sérsniðna obláta burðarefni úr sílikon og kísilkarbíð efni til að mæta mismunandi forritum.

Kostir

Eign	Gildi	Aðferð
Þéttleiki	3,21 g/cc	Vaskur-fljót og vídd
Sérhiti	0,66 J/g °K	Púlsað leysiglampi
Beygjustyrkur	450 MPa560 MPa	4 punkta beygja, RT4 punkta beygja, 1300°
Brotþol	2,94 MPa m1/2	Örinndráttur
hörku	2800	Vicker's, 500g hleðsla
Teygjanlegur ModulusYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt beygja, RT4 pt beygja, 1300 °C
Kornastærð	2 – 10 µm	SEM

Fyrirtækið

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. er leiðandi birgir háþróaðs hálfleiðara keramik og eini framleiðandinn í Kína sem getur samtímis útvegað háhreint kísilkarbíð keramik (sérstaklega endurkristallað SiC) og CVD SiC húðun. Að auki hefur fyrirtækið okkar einnig skuldbundið sig til keramiksviða eins og súrál, álnítríð, sirkon og kísilnítríð osfrv.

Helstu vörur okkar þar á meðal: kísilkarbíð ætarskífa, kísilkarbíð bátsdráttur, kísilkarbíð skífubátur (ljósvökva og hálfleiðari), kísilkarbíð ofnrör, kísilkarbíð burðarspaði, kísilkarbíð chucks, kísilkarbíð geisla, sem og Ta CVD SiC húðun, auk Ta CVD húðunar. húðun. Vörurnar sem aðallega eru notaðar í hálfleiðurum og ljósvökvaiðnaði, svo sem búnað fyrir kristalvöxt, epitaxy, ætingu, pökkun, húðun og dreifingarofna osfrv.
um (2)