Semicera hár hreinleikiKísilkarbíð rófurer vandlega hannað til að mæta ströngum kröfum nútíma framleiðsluferla hálfleiðara. ÞettaSiC Cantilever paddleskarar fram úr í háhitaumhverfi og býður upp á óviðjafnanlega hitastöðugleika og vélræna endingu. SiC Cantilever uppbyggingin er smíðuð til að standast erfiðar aðstæður og tryggja áreiðanlega meðhöndlun obláta í gegnum ýmis ferli.
Ein af helstu nýjungum íSiC Paddleer létt en samt sterk hönnun þess, sem gerir kleift að samþætta þau við núverandi kerfi. Mikil hitaleiðni þess hjálpar til við að viðhalda stöðugleika obláta á mikilvægum stigum eins og ætingu og útfellingu, lágmarkar hættuna á skemmdum á disknum og tryggir meiri framleiðslu. Notkun háþéttni kísilkarbíðs í spaðabyggingunni eykur viðnám þess gegn sliti, veitir lengri endingartíma og dregur úr þörfinni fyrir tíðar skipti.
Semicera leggur mikla áherslu á nýsköpun, skilar aSiC Cantilever paddlesem ekki aðeins uppfyllir heldur er umfram iðnaðarstaðla. Þessi spaði er fínstilltur til notkunar í ýmsum hálfleiðurum, frá útfellingu til ætingar, þar sem nákvæmni og áreiðanleiki skipta sköpum. Með því að samþætta þessa nýjustu tækni geta framleiðendur búist við bættri skilvirkni, minni viðhaldskostnaði og stöðugum vörugæðum.
Eðliseiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs | |
Eign | Dæmigert gildi |
Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (minnkandi umhverfi) |
SiC innihald | > 99,96% |
Ókeypis Si efni | < 0,1% |
Magnþéttleiki | 2,60-2,70 g/cm3 |
Augljóst porosity | < 16% |
Þjöppunarstyrkur | > 600 MPa |
Kaldur beygjustyrkur | 80-90 MPa (20°C) |
Heitt beygjustyrkur | 90-100 MPa (1400°C) |
Hitaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Varmaleiðni @1200°C | 23 W/m•K |
Teygjustuðull | 240 GPa |
Hitaáfallsþol | Einstaklega gott |