Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Háhreinir tantal kolefnishúðaðir hringir eru mikið notaðir í sérstökum búnaði og kerfum í geimferða-, efna-, hálfleiðaraframleiðslu og öðrum sviðum. Þeir eru venjulega notaðir til að þétta og senda í háhita og ætandi umhverfi, veita áreiðanlega afköst og langan líftíma, tryggja stöðugan rekstur búnaðar og vörugæði.
Einkenni tantal kolefnishúðaðra hringa með mikilli hreinleika eru sem hér segir:
1. Háhitastöðugleiki: Háhreinir tantal kolefnishúðaðir hringir geta viðhaldið byggingarstöðugleika í háhitaumhverfi og hefur framúrskarandi háhitaþol, sem er hentugur fyrir forrit sem þurfa að standast háhitaskilyrði.
2. Tæringarþol: Tantal efni sjálft hefur góða tæringarþol og tantalkarbíðhúðin sem myndast á yfirborðinu eykur tæringarþol þess enn frekar og getur staðist veðrun ýmissa efna og leysiefna.
3. Slitþol: Tantalkarbíðhúð hefur mikla hörku og slitþol, getur viðhaldið góðum árangri í núnings- og slitumhverfi og lengt endingartíma.
4. Framúrskarandi þéttingarárangur: Háhreinir tantal kolefnishúðaðir hringir hafa góða þéttingargetu, geta í raun komið í veg fyrir gas- eða vökvaleka og henta fyrir notkunarsvið með miklar þéttingarkröfur.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
