Semicera kynnir hágæða sérsniðiðkísilkarbíð burðarspaðihannað til að hækka framleiðsluferli hálfleiðara. Hið nýstárlegaSiC róðrarspaðihönnun tryggir einstaka endingu og mikla hitauppstreymi, sem gerir það að mikilvægum hluta fyrir meðhöndlun obláta í krefjandi háhitaumhverfi.
TheKísilkarbíð spaðier smíðað til að standast miklar hitauppstreymi en viðhalda burðarvirki heilleika, tryggja áreiðanlega flutning á oblátum á mikilvægum stigum hálfleiðaraframleiðslu. Með yfirburða vélrænni styrk, þettaoblátubáturlágmarkar hættuna á skemmdum á oblátum, sem leiðir til meiri uppskeru og stöðugra framleiðslugæða.
Ein af helstu nýjungum í SiC paddle Semicera liggur í sérsniðnum hönnunarmöguleikum. Snúðurinn er sérsniðinn til að mæta sérstökum framleiðsluþörfum og býður upp á sveigjanleika í samþættingu við ýmsar búnaðaruppsetningar, sem gerir hann að tilvalinni lausn fyrir nútíma framleiðsluferli. Létt en samt sterk smíðin gerir auðvelda meðhöndlun og dregur úr notkunartíma, sem stuðlar að bættri skilvirkni í hálfleiðaraframleiðslu.
Til viðbótar við hitauppstreymi og vélrænni eiginleika þess, erKísilkarbíð spaðibýður upp á framúrskarandi efnaþol, sem gerir það kleift að framkvæma áreiðanlega jafnvel í erfiðu efnaumhverfi. Þetta gerir það sérstaklega hentugur til notkunar í ferlum sem fela í sér ætingu, útfellingu og háhitameðferð, þar sem viðhalda heilleika oblátabátsins er mikilvægt til að tryggja hágæða úttak.
| Eðliseiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs | |
| Eign | Dæmigert gildi |
| Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (minnkandi umhverfi) |
| SiC innihald | > 99,96% |
| Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| Magnþéttleiki | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Augljóst porosity | < 16% |
| Þjöppunarstyrkur | > 600 MPa |
| Kaldur beygjustyrkur | 80-90 MPa (20°C) |
| Heitt beygjustyrkur | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hitaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Varmaleiðni @1200°C | 23 W/m•K |
| Teygjustuðull | 240 GPa |
| Hitaáfallsþol | Einstaklega gott |
