SiC pinnabakkar fyrir ICP etsunarferli í LED iðnaði

Stutt lýsing:

SiC pinnabakkar Semicera fyrir ICP ætingarferla í LED iðnaði eru sérstaklega hönnuð til að auka skilvirkni og nákvæmni í ætingarforritum. Þessir pinnabakkar eru búnir til úr hágæða kísilkarbíði og bjóða upp á framúrskarandi hitastöðugleika, efnaþol og vélrænan styrk. Tilvalin fyrir krefjandi aðstæður LED framleiðsluferlisins, SiC pinnabakkar Semicera tryggja samræmda ætingu, lágmarka mengun og bæta heildar áreiðanleika ferlisins, sem stuðlar að hágæða LED framleiðslu.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Vörulýsing

Fyrirtækið okkar veitir SiC húðunarferlisþjónustu með CVD aðferð á yfirborði grafíts, keramik og annarra efna, þannig að sérstakar lofttegundir sem innihalda kolefni og kísil hvarfast við háan hita til að fá mikla hreinleika SiC sameindir, sameindir sem eru settar á yfirborð húðuðu efnanna, myndar SIC hlífðarlag.

Helstu eiginleikar:

1. Oxunarþol við háan hita:

oxunarþolið er enn mjög gott þegar hitastigið er allt að 1600 C.

2. Hár hreinleiki: gert með efnagufuútfellingu við háhita klórunarskilyrði.

3. Rofþol: hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.

4. Tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.

Kísilkarbíð etsaður diskur (2)

Helstu upplýsingar um CVD-SIC húðun

SiC-CVD eiginleikar

Kristal uppbygging

FCC β fasi

Þéttleiki

g/cm ³

3.21

hörku

Vickers hörku

2500

Kornastærð

μm

2~10

Efnafræðilegur hreinleiki

%

99.99995

Hitageta

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimation Hitastig

2700

Felexural styrkur

MPa (RT 4 punkta)

415

Young's Modulus

GPA (4pt beygja, 1300 ℃)

430

Hitastækkun (CTE)

10-6K-1

4.5

Varmaleiðni

(W/mK)

300

Semicera Vinnustaður
Semicera vinnustaður 2
Tækjavél
CNN vinnsla, efnahreinsun, CVD húðun
Þjónustan okkar

  • Fyrri:
  • Næst: