SEMICERA isostatic PECVD grafítbátur er háhreinleiki grafítafurð með miklum þéttleika sem er hönnuð til að styðja við oblátur í PECVD-ferlinu (plasma enhanced chemical vapour deposition). SEMICERA notar háþróaða ísóstatíska pressutækni til að tryggja að grafítbáturinn hafi framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og góða hitaleiðni, sem er ómissandi rekstrarefni í hálfleiðara framleiðsluferlinu.
SEMICERA isostatic PECVD grafítbátur hefur eftirfarandi kosti:
▪ Mikill hreinleiki: Grafítefnið er af miklum hreinleika og lítið óhreinindi til að forðast mengun á yfirborði skífunnar.
▪ Hár þéttleiki: Hár þéttleiki, hár vélrænni styrkur, þolir háan hita og hátt lofttæmisumhverfi.
▪ Góður víddarstöðugleiki: Lítil stærðarbreyting við háan hita til að tryggja vinnslustöðugleika.
▪ Framúrskarandi hitaleiðni: Flytjið hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á flísum.
▪ Sterk tæringarþol: Getur staðist veðrun frá ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.
| Afköst færibreyta | hálfgerð | SGL R6510 | Afköst færibreyta |
| Magnþéttleiki (g/cm3) | 1,91 | 1,83 | 1,85 |
| Beygjustyrkur (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Þrýstistyrkur (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Shore Hardness (HS) | 70 | 64 | 60 |
| varmaþenslustuðull (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| varmaþenslustuðull (10-6/K) | 5,85 | 4.2 | 5.0 |
| Viðnám (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Kostir þess að velja okkur:
▪ Efnisval: Háhreint grafítefni eru notuð til að tryggja gæði vöru.
▪ Vinnslutækni: Ísóstatísk pressun er notuð til að tryggja þéttleika vöru og einsleitni.
▪ Stærðaraðlögun: Grafítbáta af mismunandi stærðum og gerðum er hægt að aðlaga eftir þörfum viðskiptavina.
▪ Yfirborðsmeðferð: Boðið er upp á margs konar yfirborðsmeðferðaraðferðir, svo sem húðun kísilkarbíðs, bórnítríðs o.s.frv., til að uppfylla mismunandi ferliskröfur.
