Framhlið framleiðslulínunnar er eins og að leggja grunninn og byggja húsveggi. Í hálfleiðaraframleiðslu felur þetta stig í sér að búa til grunnbyggingar og smára á sílikonskífu.
Lykilskref FEOL:
1. Þrif:Byrjaðu á þunnri sílikonskífu og hreinsaðu hana til að fjarlægja óhreinindi.
2. Oxun:Ræktaðu lag af kísildíoxíði á oblátuna til að einangra mismunandi hluta flísarinnar.
3. Ljósmyndafræði:Notaðu ljóslithography til að etsa mynstur á oblátuna, svipað og að teikna teikningar með ljósi.
4. Æsing:Æsa burt óæskilegt kísildíoxíð til að sýna æskileg mynstur.
5. Lyfjanotkun:Settu óhreinindi inn í sílikonið til að breyta rafeiginleikum hans, búa til smára, grundvallarbyggingareiningar hvers konar flísar.
Mid End of Line (MEOL): Að tengja punktana
Miðenda framleiðslulínunnar er eins og að setja upp raflögn og pípulagnir í húsi. Þetta stig leggur áherslu á að koma á tengingum milli smára sem eru búnir til á FEOL stiginu.
Lykilskref MEOL:
1. Rafmagnsútfelling:Settu einangrunarlög (kallað dielectrics) til að vernda smárana.
2. Tengiliður:Myndaðu tengiliði til að tengja smárana hver við annan og umheiminn.
3. Samtenging:Bættu við málmlögum til að búa til brautir fyrir rafmerki, svipað og að tengja hús til að tryggja hnökralaust afl og gagnaflæði.
Aftur á línu (BEOL): Frágangur
-
Bakendinn á framleiðslulínunni er eins og að bæta lokahöndinni við hús - setja upp innréttingar, mála og tryggja að allt virki. Í hálfleiðaraframleiðslu felur þetta stig í sér að bæta við lokalögunum og undirbúa flísina fyrir umbúðir.
Lykilskref BEOL:
1. Viðbótarmálmlög:Bættu við mörgum málmlögum til að auka samtengingu, tryggja að flísinn geti séð um flókin verkefni og mikinn hraða.
2. Aðgerðarleysi:Settu hlífðarlög á til að verja flísina fyrir umhverfisspjöllum.
3. Próf:Látið flísina fara í strangar prófanir til að tryggja að hann uppfylli allar forskriftir.
4. Teningar:Skerið skúffuna í einstaka flögur, hverja tilbúinn til pökkunar og notkunar í rafeindatækjum.
Pósttími: júlí-08-2024