Þunnar filmur sem notaðar eru í hálfleiðaraframleiðslu hafa allar viðnám og filmuþol hefur bein áhrif á frammistöðu tækisins. Venjulega mælum við ekki algera viðnám filmunnar, heldur notum viðnám laksins til að einkenna hana.
Hvað eru lakviðnám og rúmmálsviðnám?
Rúmmálsviðnám, einnig þekkt sem rúmmálsviðnám, er eðlislægur eiginleiki efnis sem einkennir hversu mikið efnið hindrar flæði rafstraums. Algengt tákn ρ táknar, einingin er Ω.
Viðnám lak, einnig þekkt sem lakviðnám, enska nafnið er lakviðnám, sem vísar til viðnámsgildis kvikmyndarinnar á flatarmálseiningu. Algeng tákn Rs eða ρs til að tjá, einingin er Ω/sq eða Ω/□
Sambandið á milli þessara tveggja er: lakviðnám = rúmmálsviðnám/filmuþykkt, það er Rs =ρ/t
Af hverju að mæla viðnám laks?
Mæling á algeru viðnámi filmu krefst nákvæmrar þekkingar á rúmfræðilegum stærðum filmunnar (lengd, breidd, þykkt), sem hefur margar breytur og er mjög flókið fyrir mjög þunnar eða óreglulega lagaðar filmur. Viðnám blaðsins tengist aðeins þykkt filmunnar og er hægt að prófa það hratt og beint án flókinna stærðarútreikninga.
Hvaða filmur þurfa að mæla viðnám laks?
Almennt þarf að mæla leiðandi filmur og hálfleiðarafilmur með tilliti til ferningsviðnáms, en einangrunarfilmur þarf ekki að mæla.
Í hálfleiðara lyfjanotkun er lakviðnám kísils einnig mæld.
Hvernig á að mæla ferningsviðnám?
Fjögurra rannsaka aðferðin er almennt notuð í greininni. Fjögurra rannsaka aðferðin getur mælt ferningsviðnám á bilinu 1E-3 til 1E+9Ω/sq. Fjögurra rannsaka aðferðin getur komið í veg fyrir mælingarvillur vegna snertiviðnáms milli rannsakans og sýnisins.
Mæliaðferðir:
1) Settu fjóra línulega raðaða rannsaka á yfirborð sýnisins.
2) Settu stöðugan straum á milli ytri nemanna tveggja.
3) Ákvarðu viðnámið með því að mæla hugsanlegan mun á innri könnunum tveimur
RS: lak viðnám
ΔV: Breyting á spennu mæld á milli innri nema
I: Straumur lagður á milli ytri skynjara
Pósttími: 29. mars 2024