Hreinlæti áflöt yfirborðmun hafa mikil áhrif á hæfishlutfall síðari hálfleiðaraferla og vara. Allt að 50% af öllu ávöxtunartapi stafar afflöt yfirborðmengun.
Hlutir sem geta valdið stjórnlausum breytingum á rafgetu tækisins eða framleiðsluferli tækisins eru sameiginlega nefndir aðskotaefni. Aðskotaefni geta komið frá oblátunni sjálfri, hreina herberginu, vinnsluverkfærum, vinnsluefnum eða vatni.Wafermengun er almennt hægt að greina með sjónrænni athugun, ferliskoðun eða notkun flókins greiningarbúnaðar í lokaprófun tækisins.
▲ Aðskotaefni á yfirborði kísilþráða | Mynduppspretta net
Hægt er að nota niðurstöður mengunargreiningar til að endurspegla magn og tegund mengunar sem lendir íoblátaí ákveðnu ferliþrepi, ákveðinni vél eða heildarferlinu. Samkvæmt flokkun greiningaraðferða,flöt yfirborðmengun má skipta í eftirfarandi gerðir.
Málmmengun
Mengun af völdum málma getur valdið mismiklum galla í hálfleiðarabúnaði.
Alkalímálmar eða jarðalkalímálmar (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba o.s.frv.) geta valdið lekastraumi í pn-byggingunni, sem aftur leiðir til niðurbrotsspennu oxíðsins; umbreytingarmálmur og þungmálmur (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, o.s.frv.) mengun getur dregið úr líftíma burðarefnisins, dregið úr endingartíma íhlutans eða aukið dökkan straum þegar íhluturinn er að virka.
Algengar aðferðir til að greina málmengun eru heildarendurkastsröntgenflúrljómun, frumeindagleypnirófsgreining og inductively coupled plasma mass spectrometrie (ICP-MS).
▲ Yfirborðsmengun á vafra | ResearchGate
Málmmengun getur komið frá hvarfefnum sem notuð eru við hreinsun, ætingu, steinþrykk, útfellingu o.s.frv., eða frá vélum sem notaðar eru í ferlinu, svo sem ofnum, reaktorum, jónaígræðslu o.s.frv., eða hún getur stafað af kærulausri meðhöndlun á flísum.
Agnamengun
Raunveruleg efnisútfelling sést venjulega með því að greina ljós sem dreifist frá yfirborðsgöllum. Þess vegna er nákvæmara vísindaheiti fyrir agnamengun ljóspunktsgalla. Agnamengun getur valdið hindrunar- eða grímuáhrifum í ætingar- og steinþrykkjaferlum.
Við filmuvöxt eða útfellingu myndast göt og örholur og ef agnirnar eru stórar og leiðandi geta þær jafnvel valdið skammhlaupi.
▲ Myndun agnamengunar | Mynduppspretta net
Örlítil agnamengun getur valdið skuggum á yfirborðinu, svo sem við ljósþynningu. Ef stórar agnir eru staðsettar á milli myndagrímunnar og ljósþolslagsins geta þær dregið úr upplausn snertilýsingar.
Að auki geta þeir hindrað hraðar jónir við jónaígræðslu eða þurrætingu. Agnir geta líka verið umluktar af filmunni, þannig að það eru högg og högg. Síðari útfelld lög geta sprungið eða staðist uppsöfnun á þessum stöðum, sem veldur vandamálum við útsetningu.
Lífræn mengun
Aðskotaefni sem innihalda kolefni, sem og tengibyggingar sem tengjast C, eru kölluð lífræn mengun. Lífræn aðskotaefni geta valdið óvæntum vatnsfælnum eiginleikum áflöt yfirborð, auka grófleika yfirborðs, mynda óljóst yfirborð, trufla vöxt epitaxial lags og hafa áhrif á hreinsandi áhrif málmmengunar ef mengunarefnin eru ekki fjarlægð fyrst.
Slík yfirborðsmengun er almennt greind með tækjum eins og hitauppstreymi MS, röntgenljósrófsgreiningu og Auger rafeindalitrófsgreiningu.
▲ Myndauppspretta net
Gasmengun og vatnsmengun
Sameindir í andrúmsloftinu og vatnsmengun með sameindastærð eru venjulega ekki fjarlægð með venjulegu hávirkni agnarlofti (HEPA) eða loftsíum með mjög lágum skarpskyggni (ULPA). Venjulega er fylgst með slíkri mengun með jónamassagreiningu og háræðarafnámi.
Sum mengunarefni geta tilheyrt mörgum flokkum, til dæmis geta agnir verið samsettar úr lífrænum eða málmefnum, eða hvoru tveggja, þannig að þessi tegund mengunar getur einnig verið flokkuð sem aðrar tegundir.
▲Loftkennt sameindamengun | IONICON
Að auki er einnig hægt að flokka oblátamengun sem sameindamengun, agnamengun og vinnsluafleidd ruslamengun í samræmi við stærð mengunaruppsprettu. Því minni sem mengunarögnin er, því erfiðara er að fjarlægja hana. Í rafeindaíhlutaframleiðslu í dag, eru aðferðir við þvotthreinsun 30% - 40% af öllu framleiðsluferlinu.
▲ Aðskotaefni á yfirborði kísilþráða | Mynduppspretta net
Pósttími: 18. nóvember 2024