TheMOCVDAðferðin er eitt af stöðugustu ferlinu sem nú er notað í iðnaðinum til að rækta hágæða einkristallaðar þunnar filmur, svo sem einfasa InGaN epilayers, III-N efni og hálfleiðarafilmur með fjölskammtabrunnsbyggingu, og hefur mikla þýðingu í framleiðsla á hálfleiðurum og ljósabúnaði.
TheSiC húðun MOCVD susceptorer sérhæfður oblátahaldari húðaður með kísilkarbíði (SiC) fyrirepitaxial vöxtur í málmlífrænni efnagufu (MOCVD) ferlinu.
SiC húðin hefur framúrskarandi efnaþol og hitastöðugleika, sem gerir það að kjörnum vali fyrir MOCVD susceptors sem notaðir eru í krefjandi epitaxial vaxtarferli.
Lykilþáttur MOCVD ferlisins er susceptor, sem er lykilþáttur til að tryggja einsleitni og gæði framleiddra þunnra filma.
Hvað er susceptor? Susceptor er sérhæfður hluti sem notaður er í MOCVD ferlinu til að styðja við og hita undirlagið sem þunn filman er sett á. Það hefur margar aðgerðir, þar á meðal að gleypa rafsegulorku, breyta henni í hita og dreifa hitanum jafnt á undirlagið. Þessi einsleita upphitun er nauðsynleg fyrir vöxt samræmdra þunnra filma með nákvæmri þykkt og samsetningu.
Tegundir sýkla:
1. Grafítsusceptors: Grafítsusceptors eru oft húðaðir með hlífðarlagi s.s.kísilkarbíð (SiC), sem er þekkt fyrir mikla hitaleiðni og stöðugleika. TheSiC húðunveitir hart, verndandi yfirborð sem þolir tæringu og niðurbrot við háan hita.
2. Kísilkarbíð (SiC) susceptors: Þessir susceptors eru eingöngu úr SiC og hafa framúrskarandi hitastöðugleika og slitþol. SiC susceptors henta sérstaklega vel fyrir háhitaferli og ætandi umhverfi.
Hvernig susceptors virka í MOCVD:
Í MOCVD ferlinu eru forefni sett inn í hvarfhólfið þar sem þeir brotna niður og hvarfast til að mynda þunnt filmu á undirlaginu. Bæjarinn gegnir mikilvægu hlutverki með því að tryggja að undirlagið sé hitað jafnt, sem er mikilvægt til að ná stöðugum filmueiginleikum yfir allt yfirborð undirlagsins. Efni og hönnun susceptor eru vandlega valin til að uppfylla sérstakar kröfur útfellingarferlisins, svo sem hitastig og efnasamhæfi.
Kostir þess að nota hágæða susceptors:
• Aukin kvikmyndagæði: Með því að veita jafna hitadreifingu hjálpar susceptor að ná kvikmyndum með stöðugri þykkt og samsetningu, sem er mikilvægt fyrir frammistöðu hálfleiðaratækja.
• Bætt ferli skilvirkni: Hágæða susceptors auka heildar skilvirkni MOCVD ferlisins með því að draga úr líkum á göllum og auka ávöxtun nothæfra kvikmynda.
• Líftími og áreiðanleiki: Viðtakar úr endingargóðum efnum eins og SiC tryggja langtíma áreiðanleika og draga úr viðhaldskostnaði.
Bæjarinn er óaðskiljanlegur hluti í MOCVD ferlinu og hefur bein áhrif á gæði og skilvirkni þunnfilmuútfellingar. Fyrir frekari upplýsingar um tiltækar stærðir, MOCVD susceptors og verð, vinsamlegast ekki hika við að hafa samband við okkur. Verkfræðingar okkar munu vera fúsir til að ráðleggja þér um viðeigandi efni og svara öllum spurningum þínum.
Sími: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Pósttími: 12. ágúst 2024