Af hverju þarf að rúlla einkristalla sílikoni?

Velting vísar til þess ferlis að mala ytri þvermál einkristallsstangar úr sílikon í einn kristalstöng með tilskildu þvermáli með því að nota demantsslípihjól og mala út flatt brún viðmiðunaryfirborð eða staðsetningargróp einkristalsstangarinnar.

Ytra þvermál yfirborð eins kristalsstangarinnar sem er útbúið af einkristallaofninum er ekki slétt og flatt og þvermál þess er stærra en þvermál kísilskífunnar sem notað er í lokaumsókninni. Nauðsynlegt stöngþvermál er hægt að fá með því að rúlla ytri þvermálinu.

Valsmyllan hefur það hlutverk að mala flata brún viðmiðunaryfirborðið eða staðsetningargróp kísilstöngarinnar, það er að framkvæma stefnuprófun á staka kristalstönginni með nauðsynlegu þvermáli. Á sama valsmyllubúnaði er flatbrúnarviðmiðunaryfirborðið eða staðsetningarróp einkristalsstangarinnar malað. Almennt nota stakir kristalstangir með þvermál minna en 200 mm flata brún viðmiðunarfleti og stakar kristalstangir með þvermál 200 mm og yfir nota staðsetningarróp. Einnig er hægt að búa til staka kristalstangir með 200 mm þvermál með flötum brún viðmiðunarflötum eftir þörfum. Tilgangur viðmiðunaryfirborðs eins kristalsstanga er að mæta þörfum sjálfvirkrar staðsetningaraðgerðar vinnslubúnaðar í samþættri hringrásarframleiðslu; til að gefa til kynna kristalstefnu og leiðni gerð kísilskífunnar osfrv., Til að auðvelda framleiðslustjórnun; aðalstaðsetningarbrúnin eða staðsetningarrópin er hornrétt á <110> stefnuna. Meðan á flíspökkunarferlinu stendur getur teningaferlið valdið náttúrulegri klofningu á disknum og staðsetning getur einnig komið í veg fyrir myndun brota.

Megintilgangur námundunarferlisins eru meðal annars: Bæta yfirborðsgæði: Námundun getur fjarlægt burr og ójöfnur á yfirborði kísilþráða og bætt yfirborðssléttleika kísilþráða, sem er mjög mikilvægt fyrir síðari ljóslitafræði og ætingarferli. Draga úr streitu: Streita getur myndast við klippingu og vinnslu á kísilskífum. Námundun getur hjálpað til við að losa þessa streitu og koma í veg fyrir að kísilskífurnar brotni í síðari ferlum. Að bæta vélrænan styrk kísilskífanna: Á meðan á rúnnunarferlinu stendur verða brúnir kísilskífanna sléttari, sem hjálpar til við að bæta vélrænan styrk kísilskífanna og draga úr skemmdum við flutning og notkun. Tryggja víddarnákvæmni: Með námundun er hægt að tryggja víddarnákvæmni kísilþilja, sem skiptir sköpum fyrir framleiðslu á hálfleiðarabúnaði. Að bæta rafeiginleika kísilþráða: Brúnvinnsla kísilþráða hefur mikilvæg áhrif á rafeiginleika þeirra. Námundun getur bætt rafeiginleika kísilþráða, svo sem að draga úr lekastraumi. Fagurfræði: Brúnir kísilþráða eru sléttari og fallegri eftir rúnun, sem er einnig nauðsynlegt fyrir ákveðnar notkunaratburðarásir.