Kynning á oblátabera
VÖRUFLOKKUR
▶Wafer Carrier System fyrir PECVD & TALOX Process
• PECVD & TALOX grafítbátur (M4~M12)
• Lóðréttur SM-bátur (M4, M6)
• Grafíthluti ígræðslu og sturtu (M4~M6)
• C/C bakki & keramikhúðun
• RIE-bakki úr málmi og keramikhúðun
• Tómarúmþétting: O-hringur og SQ-hringur
▶Flutningsferli fyrir áferð og blautætingu
• LSC H-burðarefni eða snælda (M4~M12)
• LSC V-Carrier eða snælda (M4~M12)
• ASC burðarefni eða snælda (M4, M6)
• W/F burðar- og geymslukassi (M4~M12)
• Flutningshjól (rúllu) röð
▶Solar Cell Carrier & Metal Carrier
• TRC burðarefni eða snælda (M4~M12)
• Tímarit (með belti)
GRAFÍT BÁTUR (H-gerð)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFÍT BÁTUR (H-gerð)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFÍT BÁTUR (H-gerð)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFÍT BÁTUR (H-gerð)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFÍT BÁTUR (H-gerð)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF BÆRJA- OG GEYMSLAKASSI (~M12)
C/C BAKKI eða BÆRI(M4~M10)
C/C BAKKI eða BÆRI(M4~M10)
LÓÐRÉTTUR BÁTUR (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
Wafer Carrier System fyrir PECVD ferli
▶ GRAPHITE BÅTUR (CT-hannaður) M10/M12 ferli
• SÉRSTÖK HÖNNUNARHUGGI
▶ GRAPHITE BOAT (CT-hannað) M4/M6 Process
▶ Aukahlutir fyrir BÁT
▶ LÓÐRÉTT BÁTUR-161,7 mm WAFER
▶ LÓÐRÉTT BÁTUR-166mm WAFER
▶ LÓÐRÉTTUR BÁTUR-161,7 mm, 166 mm WAFER
Solar Cell Carrier & Metal TRC Carrier
GERÐ: Sjálfvirkni
WAFER STÆRÐ: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
NOTKUN: Fara (snælda)
STÆRÐA: 100 blöð
PELLI: 4,76MM/5,953mm/6,35mm
MÁL: Um það bil 559×220×220MM
Um það bil 712×260×260MM
KOSTUR: Andrúmsloft
EFNI: LOGI, HLIÐARBAR-Ál (anodizing)
SIDE PLATE-POM (andstæðingur)
Kápa botnstangar-EPDM/PU/VITON (ASE)