PFA snælda

Stutt lýsing:

PFA snælda– Upplifðu óviðjafnanlega efnaþol og endingu með PFA snældu Semicera, tilvalin lausn fyrir örugga og skilvirka meðhöndlun obláta í hálfleiðaraframleiðslu.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Semiceraer ánægja að bjóða upp áPFA snælda, úrvalsval fyrir meðhöndlun obláta í umhverfi þar sem efnaþol og ending eru í fyrirrúmi. Þessi kassetta er unnin úr háhreinu perflúoralkoxýefni (PFA) og er hönnuð til að standast krefjandi aðstæður í hálfleiðaraframleiðslu og tryggja öryggi og heilleika skífunnar.

Óviðjafnanleg efnaþolThePFA snældaer hannað til að veita yfirburða viðnám gegn fjölbreyttu úrvali efna, sem gerir það að fullkomnu vali fyrir ferla sem fela í sér árásargjarnar sýrur, leysiefni og önnur sterk efni. Þessi öfluga efnaþol tryggir að snældan haldist ósnortinn og virkur jafnvel í ætandi umhverfi og lengir þar með líftíma hennar og dregur úr þörfinni fyrir tíðar endurnýjun.

High-Purity ConstructionSemiceraPFA snældaer framleitt úr ofurhreinu PFA efni, sem er mikilvægt til að koma í veg fyrir mengun við vinnslu obláta. Þessi bygging með mikla hreinleika lágmarkar hættuna á myndun agna og efnaskolun, og tryggir að diskarnir þínir séu verndaðir fyrir óhreinindum sem gætu dregið úr gæðum þeirra.

Aukin ending og árangurHannað fyrir endingu, thePFA snældaviðheldur burðarvirki sínu við mikla hitastig og ströng vinnsluskilyrði. Hvort sem hún er útsett fyrir háum hita eða endurteknum meðhöndlun, heldur þessi snælda lögun sinni og afköstum og býður upp á langtímaáreiðanleika í krefjandi framleiðsluumhverfi.

Nákvæmni verkfræði fyrir örugga meðhöndlunTheSemicera PFA snældaer með nákvæma verkfræði sem tryggir örugga og stöðuga meðhöndlun obláta. Hver rauf er vandlega hönnuð til að halda oblátunum tryggilega á sínum stað og koma í veg fyrir hreyfingu eða tilfærslu sem gæti valdið skemmdum. Þessi nákvæmni verkfræði styður stöðuga og nákvæma staðsetningu obláta, sem stuðlar að heildar skilvirkni ferlisins.

Fjölhæf umsókn þvert á ferlaÞökk sé yfirburða efniseiginleikum, erPFA snældaer nógu fjölhæfur til að nota á ýmsum stigum hálfleiðaraframleiðslu. Það hentar sérstaklega vel fyrir blautætingu, efnagufuútfellingu (CVD) og aðra ferla sem fela í sér erfitt efnaumhverfi. Aðlögunarhæfni þess gerir það að mikilvægu tæki til að viðhalda heilindum í ferlinu og gæðum oblátsins.

Skuldbinding til gæða og nýsköpunarVið hjá Semicera erum staðráðin í að veita vörur sem uppfylla ströngustu iðnaðarstaðla. ThePFA snældasýnir þessa skuldbindingu og býður upp á áreiðanlega lausn sem fellur óaðfinnanlega inn í framleiðsluferla þína. Hver snælda gangast undir ströngu gæðaeftirliti til að tryggja að hún uppfylli strangar frammistöðuskilyrði okkar, sem skilar þeim ágæti sem þú býst við frá Semicera.

Atriði

Framleiðsla

Rannsóknir

Dúlla

Kristal færibreytur

Fjöltýpa

4H

Villa í yfirborðsstefnu

<11-20 >4±0,15°

Rafmagnsbreytur

Dopant

n-gerð köfnunarefnis

Viðnám

0,015-0,025 ohm·cm

Vélrænar breytur

Þvermál

150,0±0,2 mm

Þykkt

350±25 μm

Aðal flata stefnumörkun

[1-100]±5°

Aðal flat lengd

47,5±1,5 mm

Aukaíbúð

Engin

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Boga

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Undið

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Grófleiki að framan (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Uppbygging

Örpípuþéttleiki

<1 ea/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Óhreinindi úr málmi

≤5E10atóm/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Gæði að framan

Framan

Si

Yfirborðsfrágangur

Si-andlit CMP

Agnir

≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm)

NA

Rispur

≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál

Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun

Engin

NA

Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur

Engin

Fjölgerð svæði

Engin

Uppsafnað flatarmál≤20%

Uppsafnað flatarmál≤30%

Lasermerking að framan

Engin

Aftur gæði

Afturfrágangur

C-andlit CMP

Rispur

≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Bakgallar (kantflísar/innskot)

Engin

Grófur bak

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermerking að aftan

1 mm (frá efstu brún)

Edge

Edge

Chamfer

Umbúðir

Umbúðir

Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum

Multi-wafer kassettu umbúðir

*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD.

tækni_1_2_stærð
SiC oblátur

  • Fyrri:
  • Næst: