Semiceraer ánægja að bjóða upp áPFA snælda, úrvalsval fyrir meðhöndlun obláta í umhverfi þar sem efnaþol og ending eru í fyrirrúmi. Þessi kassetta er unnin úr háhreinu perflúoralkoxýefni (PFA) og er hönnuð til að standast krefjandi aðstæður í hálfleiðaraframleiðslu og tryggja öryggi og heilleika skífunnar.
Óviðjafnanleg efnaþolThePFA snældaer hannað til að veita yfirburða viðnám gegn fjölbreyttu úrvali efna, sem gerir það að fullkomnu vali fyrir ferla sem fela í sér árásargjarnar sýrur, leysiefni og önnur sterk efni. Þessi öfluga efnaþol tryggir að snældan haldist ósnortinn og virkur jafnvel í ætandi umhverfi og lengir þar með líftíma hennar og dregur úr þörfinni fyrir tíðar endurnýjun.
High-Purity ConstructionSemiceraPFA snældaer framleitt úr ofurhreinu PFA efni, sem er mikilvægt til að koma í veg fyrir mengun við vinnslu obláta. Þessi bygging með mikla hreinleika lágmarkar hættuna á myndun agna og efnaskolun, og tryggir að diskarnir þínir séu verndaðir fyrir óhreinindum sem gætu dregið úr gæðum þeirra.
Aukin endingu og frammistöðuHannað fyrir endingu, thePFA snældaviðheldur burðarvirki sínu við mikla hitastig og ströng vinnsluskilyrði. Hvort sem hún er útsett fyrir háum hita eða endurteknum meðhöndlun, heldur þessi snælda lögun sinni og afköstum og býður upp á langtímaáreiðanleika í krefjandi framleiðsluumhverfi.
Nákvæmni verkfræði fyrir örugga meðhöndlunTheSemicera PFA snældaer með nákvæma verkfræði sem tryggir örugga og stöðuga meðhöndlun obláta. Hver rauf er vandlega hönnuð til að halda oblátunum tryggilega á sínum stað og koma í veg fyrir hreyfingu eða tilfærslu sem gæti valdið skemmdum. Þessi nákvæmni verkfræði styður stöðuga og nákvæma staðsetningu obláta, sem stuðlar að heildar skilvirkni ferlisins.
Fjölhæf umsókn í gegnum ferlaÞökk sé yfirburða efniseiginleikum, erPFA snældaer nógu fjölhæfur til að nota á ýmsum stigum hálfleiðaraframleiðslu. Það hentar sérstaklega vel fyrir blautætingu, efnagufuútfellingu (CVD) og aðra ferla sem fela í sér erfitt efnaumhverfi. Aðlögunarhæfni þess gerir það að mikilvægu tæki til að viðhalda heilindum í ferlinu og gæðum oblátsins.
Skuldbinding til gæða og nýsköpunarVið hjá Semicera erum staðráðin í að veita vörur sem uppfylla ströngustu iðnaðarstaðla. ThePFA snældasýnir þessa skuldbindingu og býður upp á áreiðanlega lausn sem fellur óaðfinnanlega inn í framleiðsluferla þína. Hver snælda gangast undir ströngu gæðaeftirliti til að tryggja að hún uppfylli strangar frammistöðuskilyrði okkar og skilar þeim ágæti sem þú býst við frá Semicera.
Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
Kristal færibreytur | |||
Fjöltýpa | 4H | ||
Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
Rafmagnsbreytur | |||
Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Vélrænar breytur | |||
Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
Þykkt | 350±25 μm | ||
Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
Aukaíbúð | Engin | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Uppbygging | |||
Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Gæði að framan | |||
Framan | Si | ||
Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
Lasermerking að framan | Engin | ||
Aftur gæði | |||
Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Umbúðir | |||
Umbúðir | Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. |