Lýsing
Við höldum mjög nánu vikmörkum þegar beitt erSiC húðun, með mikilli nákvæmni vinnslu til að tryggja samræmda susceptor prófíl. Við framleiðum einnig efni með fullkomna rafviðnámseiginleika til notkunar í inductive hituð kerfi. Öllum fullunnum íhlutum fylgir hreinleika- og víddarsamræmisvottorð.
Fyrirtækið okkar veitirSiC húðunferli þjónustu með CVD aðferð á yfirborði grafíts, keramik og annarra efna, þannig að sérstakar lofttegundir sem innihalda kolefni og kísil hvarfast við háan hita til að fá mikla hreinleika SiC sameindir, sameindir settar á yfirborð húðuðu efnanna, sem mynda SIC hlífðarlag. SIC sem myndast er þétt tengt við grafítbotninn, sem gefur grafítbotninum sérstaka eiginleika, þannig að yfirborð grafítsins er þétt, porosity-frjáls, háhitaþol, tæringarþol og oxunarþol.
CVD ferli skilar mjög miklum hreinleika og fræðilegum þéttleikaSiC húðunán porosity. Það sem meira er, þar sem kísilkarbíð er mjög hart, er hægt að slípa það á spegillíkt yfirborð.CVD kísilkarbíð (SiC) húðunskilaði nokkrum kostum, þar á meðal ofurhreint yfirborði og einstaklega slitþoli. Þar sem húðuðu vörurnar hafa mikla afköst við hátt lofttæmi og háan hita eru þær tilvalnar fyrir notkun í hálfleiðaraiðnaði og öðru ofurhreinu umhverfi. Við bjóðum einnig upp á pyrolytic graphite (PG) vörur.
Helstu eiginleikar
1. Oxunarþol við háan hita:
oxunarþolið er enn mjög gott þegar hitastigið er allt að 1600 C.
2. Hár hreinleiki: gert með efnagufuútfellingu við háhita klórunarskilyrði.
3. Rofþol: mikil hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
4. Tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
Helstu upplýsingar um CVD-SIC húðun
SiC-CVD | ||
Þéttleiki | (g/cc) | 3.21 |
Beygjustyrkur | (Mpa) | 470 |
Hitaþensla | (10-6/K) | 4 |
Varmaleiðni | (W/mK) | 300 |
Umsókn
CVD kísilkarbíðhúð hefur þegar verið beitt í hálfleiðaraiðnaði, svo sem MOCVD bakka, RTP og oxíð ætingarhólf þar sem kísilnítríð hefur mikla hitaáfallsþol og þolir háorkuplasma.
-Kísilkarbíð er mikið notað í hálfleiðara og húðun.
Umsókn
Framboðsgeta:
10000 stykki / stykki á mánuði
Pökkun og afhending:
Pökkun: Venjuleg og sterk pökkun
Fjölpoki + kassi + öskju + bretti
Höfn:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Leiðslutími:
Magn (stykki) | 1 – 1000 | >1000 |
Áætlað Tími (dagar) | 30 | Á að semja |