Lýsing
Semicorex Wafer Carriers með SiC húðun veita framúrskarandi hitastöðugleika og leiðni, sem tryggir jafna hitadreifingu meðan á CVD ferlum stendur, sem skiptir sköpum fyrir hágæða þunnfilmu og húðunareiginleika.
Helstu eiginleikar:
1. Framúrskarandi hitastöðugleiki og leiðniSiC-húðuð obláta burðarefni okkar skara fram úr við að viðhalda stöðugu og stöðugu hitastigi, sem er mikilvægt fyrir CVD ferla. Þetta tryggir jafna hitadreifingu, sem leiðir til betri þunnrar filmu og húðunargæða.
2. Nákvæmni framleiðslaHver oblátaberi er framleiddur samkvæmt ströngum stöðlum, sem tryggir samræmda þykkt og slétt yfirborð. Þessi nákvæmni er nauðsynleg til að ná stöðugum útfellingarhraða og filmueiginleikum yfir margar oblátur, sem eykur heildar framleiðslugæði.
3. Óhreinindi hindrunSiC-húðin virkar sem ógegndræp hindrun og kemur í veg fyrir dreifingu óhreininda frá þolandanum inn í skífuna. Þetta lágmarkar mengunaráhættu, sem er mikilvægt til að framleiða háhreint hálfleiðaratæki.
4. Ending og kostnaðarhagkvæmniÖflug bygging og SiC húðun eykur endingu obláta burðanna og dregur úr tíðni skipta um sceptor. Þetta leiðir til lægri viðhaldskostnaðar og lágmarks niður í miðbæ, sem eykur skilvirkni í framleiðslu hálfleiðara.
5. Customization OptionsHægt er að aðlaga Semicorex Wafer Carriers með SiC húðun til að uppfylla sérstakar vinnslukröfur, þar á meðal mismunandi stærð, lögun og húðþykkt. Þessi sveigjanleiki gerir kleift að hagræða susceptor til að passa við einstaka kröfur mismunandi hálfleiðaraframleiðsluferla. Sérstillingarvalkostir gera kleift að þróa sýklahönnun sem er sérsniðin fyrir sérhæfð forrit, svo sem framleiðslu í miklu magni eða rannsóknir og þróun, sem tryggir bestu frammistöðu fyrir tiltekin notkunartilvik.
Umsóknir:
Semicera Wafer Carriers með SiC húðun henta vel fyrir:
• Epitaxial vöxtur hálfleiðaraefna
• Chemical Vapor Deposition (CVD) ferli
• Framleiðsla á hágæða hálfleiðara oblátum
• Háþróuð forrit til að framleiða hálfleiðara
Tæknilýsing:
