Lýsing
Fyrirtækið okkar veitirSiC húðunvinnsluþjónustu með CVD aðferð á yfirborði grafíts, keramik og annarra efna, þannig að sérstakar lofttegundir sem innihalda kolefni og kísil hvarfast við háan hita til að fá mikla hreinleika SiC sameindir, sameindir sem eru settar á yfirborðhúðuðefni, myndar SIC hlífðarlag.
Eiginleikar SiC sturtuhausa eru sem hér segir:
1. Tæringarþol: SiC efni hefur framúrskarandi tæringarþol og þolir veðrun ýmissa efnavökva og lausna og er hentugur fyrir margs konar efnavinnslu og yfirborðsmeðferðarferli.
2. Stöðugleiki við háan hita:SiC stúturgetur viðhaldið stöðugleika í byggingu í háhitaumhverfi og hentar fyrir forrit sem krefjast háhitameðferðar.
3. Samræmd úða:SiC stúturhönnun hefur góða úðastýringarárangur, sem getur náð samræmdri vökvadreifingu og tryggt að meðferðarvökvinn sé jafnt þakinn á markyfirborðinu.
4. Hár slitþol: SiC efni hefur mikla hörku og slitþol og þolir langtíma notkun og núning.
SiC sturtuhausar eru mikið notaðir í fljótandi meðferðarferlum í hálfleiðaraframleiðslu, efnavinnslu, yfirborðshúð, rafhúðun og öðrum iðnaðarsviðum. Það getur veitt stöðug, einsleit og áreiðanleg úðaáhrif til að tryggja gæði og samkvæmni vinnslu og meðhöndlunar.
Helstu eiginleikar
1. Oxunarþol við háan hita:
oxunarþolið er enn mjög gott þegar hitastigið er allt að 1600 C.
2. Hár hreinleiki: gert með efnagufuútfellingu við háhita klórunarskilyrði.
3. Rofþol: mikil hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
4. Tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
Helstu upplýsingar um CVD-SIC húðun
| SiC-CVD eiginleikar | ||
| Kristal uppbygging | FCC β fasi | |
| Þéttleiki | g/cm ³ | 3.21 |
| hörku | Vickers hörku | 2500 |
| Kornastærð | μm | 2~10 |
| Efnafræðilegur hreinleiki | % | 99.99995 |
| Hitageta | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation Hitastig | ℃ | 2700 |
| Felexural styrkur | MPa (RT 4 punkta) | 415 |
| Young's Modulus | GPA (4pt beygja, 1300 ℃) | 430 |
| Varmaþensla (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Varmaleiðni | (W/mK) | 300 |
