Silicon Film frá Semicera er hágæða, nákvæmnishannað efni sem er hannað til að uppfylla ströngar kröfur hálfleiðaraiðnaðarins. Þessi þunnfilmulausn er framleidd úr hreinu sílikoni og býður upp á framúrskarandi einsleitni, mikinn hreinleika og einstaka rafmagns- og hitaeiginleika. Það er tilvalið til notkunar í ýmsum hálfleiðurum, þar á meðal framleiðslu á Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate og Epi-Wafer. Kísilfilm frá Semicera tryggir áreiðanlega og stöðuga frammistöðu, sem gerir hana að nauðsynlegu efni fyrir háþróaða rafeindatækni.
Frábær gæði og afköst fyrir hálfleiðaraframleiðslu
Kísilfilman frá Semicera er þekkt fyrir framúrskarandi vélrænan styrk, mikinn hitastöðugleika og lágan gallahlutfall, sem allt skipta sköpum við framleiðslu hágæða hálfleiðara. Hvort sem hún er notuð við framleiðslu á Gallium Oxide (Ga2O3) tækjum, AlN Wafer, eða Epi-Wafers, þá gefur hún sterkan grunn fyrir þunnfilmuútfellingu og þekjuvöxt. Samhæfni þess við önnur undirlag hálfleiðara eins og SiC Substrate og SOI Wafers tryggir óaðfinnanlega samþættingu í núverandi framleiðsluferli, sem hjálpar til við að viðhalda mikilli ávöxtun og stöðugum vörugæðum.
Umsóknir í hálfleiðaraiðnaði
Í hálfleiðaraiðnaðinum er kísilfilm frá Semicera notuð í fjölmörgum forritum, allt frá framleiðslu á Si Wafer og SOI Wafer til sérhæfðari notkunar eins og SiN Substrate og Epi-Wafer sköpun. Mikill hreinleiki og nákvæmni þessarar filmu gerir hana nauðsynlega við framleiðslu á háþróaðri íhlutum sem notaðir eru í allt frá örgjörvum og samþættum hringrásum til sjónrænna tækja.
Kísilfilman gegnir mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraferlum eins og epitaxial vexti, oblátubindingu og þunnfilmuútfellingu. Áreiðanlegir eiginleikar þess eru sérstaklega mikilvægir fyrir atvinnugreinar sem krefjast mjög stýrðu umhverfi, svo sem hreinherbergi í hálfleiðurum. Að auki er hægt að samþætta kísilfilmuna inn í snældakerfi fyrir skilvirka meðhöndlun og flutning á oblátum meðan á framleiðslu stendur.
Langtímaáreiðanleiki og samkvæmni
Einn af helstu kostum þess að nota kísilfilmu Semicera er langtímaáreiðanleiki hennar. Með framúrskarandi endingu og stöðugum gæðum veitir þessi filma áreiðanlega lausn fyrir framleiðsluumhverfi í miklu magni. Hvort sem það er notað í hánákvæmni hálfleiðaratæki eða háþróuð rafeindaforrit, þá tryggir kísilfilman frá Semicera að framleiðendur geti náð háum afköstum og áreiðanleika á margs konar vöruúrvali.
Af hverju að velja kísilfilmu Semicera?
Kísilfilman frá Semicera er ómissandi efni fyrir háþróaða notkun í hálfleiðaraiðnaðinum. Afkastamikil eiginleikar þess, þar á meðal framúrskarandi hitastöðugleiki, hár hreinleiki og vélrænni styrkur, gera það að kjörnum vali fyrir framleiðendur sem vilja ná hæstu stöðlum í hálfleiðaraframleiðslu. Frá Si Wafer og SiC Substrate til framleiðslu á Gallium Oxide Ga2O3 tækjum, þessi kvikmynd skilar óviðjafnanlegum gæðum og frammistöðu.
Með kísilfilmu Semicera geturðu treyst á vöru sem uppfyllir þarfir nútíma hálfleiðaraframleiðslu, sem gefur áreiðanlegan grunn fyrir næstu kynslóð rafeindatækni.
Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
Kristal færibreytur | |||
Fjöltýpa | 4H | ||
Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
Rafmagnsbreytur | |||
Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Vélrænar breytur | |||
Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
Þykkt | 350±25 μm | ||
Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
Aukaíbúð | Engin | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Uppbygging | |||
Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Gæði að framan | |||
Framan | Si | ||
Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
Lasermerking að framan | Engin | ||
Aftur gæði | |||
Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Umbúðir | |||
Umbúðir | Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. |