Vöruyfirlit
TheKísilgegndreypt kísilkarbíð (SiC) paddle og obláturer hannað til að uppfylla krefjandi kröfur um hálfleiðara varmavinnsluforrit. Þessi vara er unnin úr háhreinu SiC og endurbætt með sílikon gegndreypingu, þessi vara býður upp á einstaka blöndu af háhitaafköstum, framúrskarandi hitaleiðni, tæringarþoli og framúrskarandi vélrænni styrk.
Með því að samþætta háþróaða efnisfræði við nákvæmni framleiðslu tryggir þessi lausn yfirburða afköst, áreiðanleika og endingu fyrir hálfleiðaraframleiðendur.
Helstu eiginleikar
1.Óvenjulegt háhitaþol
Með bræðslumark yfir 2700°C eru SiC efni í eðli sínu stöðug undir miklum hita. Kísil gegndreyping eykur varmastöðugleika þeirra enn frekar og gerir þeim kleift að standast langvarandi útsetningu fyrir háum hita án þess að veikja burðarvirki eða skerða frammistöðu.
2.Frábær hitaleiðni
Einstök varmaleiðni sílikon gegndreypts SiC tryggir jafna hitadreifingu og dregur úr hitaálagi á mikilvægum vinnslustigum. Þessi eign lengir líftíma búnaðar og lágmarkar framleiðslustöðvun, sem gerir hann tilvalinn fyrir háhitavarmavinnslu.
3.Oxunar- og tæringarþol
Sterkt kísiloxíðlag myndast náttúrulega á yfirborðinu, sem veitir framúrskarandi viðnám gegn oxun og tæringu. Þetta tryggir langtíma áreiðanleika í erfiðu rekstrarumhverfi, verndar bæði efnið og nærliggjandi hluti.
4.Hár vélrænni styrkur og slitþol
Kísil gegndreypt SiC hefur framúrskarandi þjöppunarstyrk og slitþol, viðheldur burðarvirki sínu við mikið álag og háan hita. Þetta dregur úr hættu á slitatengdum skemmdum og tryggir stöðuga frammistöðu yfir lengri notkunarlotur.
Tæknilýsing
| Vöruheiti | SC-RSiC-Si |
| Efni | Kísil gegndreyping kísilkarbíð Compact (mikill hreinleiki) |
| Umsóknir | Hálfleiðara hitameðferðarhlutar, hlutar til framleiðslubúnaðar fyrir hálfleiðara |
| Afhendingareyðublað | Mótaður líkami (Sinted body) |
| Samsetning | Vélræn eign | Young's Modulus (GPa) | Beygjustyrkur (MPa) | ||
| Samsetning (rúmmál%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Magnþéttleiki (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Hitaþolið Hitastig°C | 1350 | Poisson's Ratio | 0,18(RT) | ||
| Thermal Property | Varmaleiðni (W/(m· K)) | Sérstök hitageta (kJ/(kg·K)) | Hitastækkunarstuðull (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Innihald óhreininda ((ppm) | |||||||||||||
| Frumefni | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Innihaldshlutfall | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Umsóknir
▪Hálfleiðara varmavinnsla:Tilvalið fyrir ferla eins og efnagufuútfellingu (CVD), epitaxial vöxt og glæðingu, þar sem nákvæm hitastýring og ending efnis eru mikilvæg.
▪Oblátur og róðrarspaði:Hannað til að halda og flytja diska á öruggan hátt við háhita hitameðferðir.
▪Öfgafullt rekstrarumhverfi: Hentar fyrir stillingar sem krefjast mótstöðu gegn hita, efnafræðilegri útsetningu og vélrænni streitu.
Kostir sílikon gegndreypts SiC
Sambland af háhreinu kísilkarbíði og háþróaðri sílikon gegndreypingartækni skilar óviðjafnanlegum ávinningi:
▪Nákvæmni:Bætir nákvæmni og eftirlit með hálfleiðaravinnslu.
▪Stöðugleiki:Þolir erfiðar aðstæður án þess að skerða virkni.
▪Langlífi:Lengir endingartíma framleiðslubúnaðar fyrir hálfleiðara.
▪Skilvirkni:Bætir framleiðni með því að tryggja áreiðanlegar og stöðugar niðurstöður.
Af hverju að velja sílikon gegndreyptar SiC lausnir okkar?
At Semicera, við sérhæfum okkur í að veita hágæða lausnir sem eru sérsniðnar að þörfum hálfleiðaraframleiðenda. Kísilgegndreypt kísilkarbíðsfiðurinn okkar og oblátu burðarbúnaðurinn okkar gangast undir strangar prófanir og gæðatryggingu til að uppfylla iðnaðarstaðla. Með því að velja Semicera færðu aðgang að nýjustu efnum sem eru hönnuð til að hámarka framleiðsluferla þína og auka framleiðslugetu þína.
Tæknilýsing
▪Efni samsetning:Háhreint kísilkarbíð með sílikon gegndreypingu.
▪Rekstrarhitasvið:Allt að 2700°C.
▪ Varmaleiðni:Einstaklega hátt fyrir jafna hitadreifingu.
▪Viðnám eiginleikar:Oxunar-, tæringar- og slitþolið.
▪Umsóknir:Samhæft við ýmis hálfleiðara varmavinnslukerfi.
Hafðu samband
Tilbúinn til að hækka hálfleiðaraframleiðsluferlið þitt? Hafðu sambandSemiceraí dag til að fræðast meira um kísilgegndreypta kísilkarbíðspaðann okkar og oblátu burðarefni.
▪Netfang: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Sími: +86-0574-8650 3783
▪Staðsetning:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo hátækni, Zone, Zhejiang héraði, 315201, Kína
