TaC húðuðdjúpur útfjólubláur LED grafítgrunnur vísar til þess ferlis að bæta afköst og stöðugleika tækisins með því að setja innTaC húðuná grafítgrunninum við undirbúning djúpútfjólubláa LED tækisins. Þessi húðun getur bætt hitaleiðni, háhitaþol og oxunarþol tækisins og þar með bætt skilvirkni og áreiðanleika LED tækisins. Djúp útfjólublá LED tæki eru venjulega notuð á sumum sérstökum sviðum, svo sem sótthreinsun, ljósmeðferð osfrv., Sem gera miklar kröfur um stöðugleika og afköst tækisins. Umsókn umTaC húðað grafítgrunnurinn getur í raun aukið endingu og frammistöðu tækisins, sem veitir mikilvægan stuðning við þróun djúpútfjólubláa LED tækni.
Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Eftir margra ára þróun hefur Semicera sigrað tæknina íCVD TaCmeð sameiginlegu átaki R&D deildarinnar. Auðvelt er að koma fram gallar í vaxtarferli SiC flísa, en eftir notkunTaC, munurinn er verulegur. Hér að neðan er samanburður á oblátum með og án TaC, sem og Simicera' hlutum fyrir einskristalvöxt.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
