TaC húðaðir grafít stýrihringirvísa til útfellingar á þunnu lagi aftantalkarbíðá yfirborði grafítstýrihrings til að bæta slitþol hans, háhitaþol og efnafræðilegan stöðugleika. Þessi húðun er venjulega mynduð á yfirborði grafítstýrihrings með aðferðum eins og líkamlegri gufuútfellingu (PVD) eða efnagufuútfellingu (CVD).
Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Eftir margra ára þróun hefur Semicera sigrað tæknina íCVD TaCmeð sameiginlegu átaki R&D deildarinnar. Auðvelt er að koma fram gallar í vaxtarferli SiC flísa, en eftir notkunTaC, munurinn er verulegur. Hér að neðan er samanburður á oblátum með og án TaC, sem og Simicera' hlutum fyrir einskristalvöxt.
Helstu eiginleikar TaC húðaðra grafítstýrihringa eru:
1. Háhitaþol: TaC húðun hefur framúrskarandi háhitastöðugleika og getur viðhaldið stöðugleika í háhitaumhverfi.
2. Slitþol: Hátt hörku tantalkarbíð þunnt lag gefur stýrihringnum góða slitþol og lengir endingartíma hans.
3. Efnafræðilegur stöðugleiki: TaC húðun hefur mikla stöðugleika gegn efnatæringu, sem gerir það hentugt fyrir notkun í sumum ætandi miðlum.
4. Draga úr núningi: TaC húðun getur í raun dregið úr núningi milli grafítstýrihringsins og annarra íhluta og bætt skilvirkni vélrænna innsigli.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
