Kynning á CVD TaC húðun:
CVD TaC húðun er tækni sem notar efnagufuútfellingu til að setja tantalkarbíð (TaC) húð á yfirborð undirlags. Tantalkarbíð er afkastamikið keramikefni með framúrskarandi vélrænni og efnafræðilega eiginleika. CVD ferlið myndar samræmda TaC filmu á yfirborði undirlagsins með gasviðbrögðum.
Helstu eiginleikar:
Frábær hörku og slitþolTantalkarbíð hefur mjög mikla hörku og CVD TaC húðun getur bætt slitþol undirlagsins verulega. Þetta gerir húðunina tilvalin fyrir notkun í slitsterku umhverfi, svo sem skurðarverkfæri og mót.
Stöðugleiki við háan hita: TaC húðun verndar mikilvæga ofna- og kjarnahluta við hitastig allt að 2200°C, sem sýnir góðan stöðugleika. Það viðheldur efnafræðilegum og vélrænum stöðugleika við erfiðar hitastig, sem gerir það hentugt fyrir háhitavinnslu og notkun í háhitaumhverfi.
Frábær efnafræðilegur stöðugleikiTantalkarbíð hefur sterka tæringarþol gegn flestum sýrum og basum og CVD TaC húðun getur í raun komið í veg fyrir skemmdir á undirlaginu í ætandi umhverfi.
Hátt bræðslumarkTantalkarbíð hefur hátt bræðslumark (u.þ.b. 3880°C), sem gerir CVD TaC húðun kleift að nota við mjög háan hita án þess að bráðna eða brotna niður.
Frábær hitaleiðni: TaC húðun hefur mikla hitaleiðni, sem hjálpar til við að dreifa hita á áhrifaríkan hátt í háhitaferli og koma í veg fyrir staðbundna ofhitnun.
Hugsanlegar umsóknir:
• Gallíumnítríð (GaN) og kísilkarbíð epitaxial CVD reactor íhlutir, þ.mt oblátur, gervihnattadiskar, sturtuhausar, loft og susceptors
• Kísilkarbíð, gallíumnítríð og álnítríð (AlN) kristalvaxtarþættir þar á meðal deiglur, fræhaldarar, stýrihringir og síur
• Iðnaðaríhlutir, þ.mt mótstöðuhitaeiningar, innspýtingarstútar, grímuhringir og lóðajárn
Eiginleikar forrita:
• Hitastig stöðugt yfir 2000°C, sem gerir kleift að nota við háan hita
•Þolir vetni (Hz), ammoníaki (NH3), mónósílani (SiH4) og sílikoni (Si), sem veitir vernd í erfiðu efnaumhverfi
• Hitaáfallsþol hennar gerir hraðari notkunarlotur
• Grafít hefur sterka viðloðun, sem tryggir langan endingartíma og engin lagaflögun.
• Ofurmikill hreinleiki til að útrýma óþarfa óhreinindum eða aðskotaefnum
• Samræmd húðun með þéttum víddarvikmörkum
Tæknilegar upplýsingar:
Undirbúningur þéttrar tantalkarbíðhúðunar með CVD：
TAC húðun með mikilli kristöllun og framúrskarandi einsleitni:
CVD TAC COATING Tæknilegar breytur_Semicera:
Ofangreind eru dæmigerð gildi.
