CVD TaC húðun

 

Kynning á CVD TaC húðun:

 

CVD TaC húðun er tækni sem notar efnagufuútfellingu til að setja tantalkarbíð (TaC) húð á yfirborð undirlags. Tantalkarbíð er afkastamikið keramikefni með framúrskarandi vélræna og efnafræðilega eiginleika. CVD ferlið myndar samræmda TaC filmu á yfirborði undirlagsins með gasviðbrögðum.

 

Helstu eiginleikar:

 

Frábær hörku og slitþolTantalkarbíð hefur mjög mikla hörku og CVD TaC húðun getur bætt slitþol undirlagsins verulega. Þetta gerir húðunina tilvalin fyrir notkun í slitsterku umhverfi, svo sem skurðarverkfæri og mót.

Stöðugleiki við háan hita: TaC húðun verndar mikilvæga ofn- og kjarnahluta við hitastig allt að 2200°C, sem sýnir góðan stöðugleika. Það viðheldur efnafræðilegum og vélrænum stöðugleika við erfiðar hitastig, sem gerir það hentugt fyrir háhitavinnslu og notkun í háhitaumhverfi.

Frábær efnafræðilegur stöðugleikiTantalkarbíð hefur sterka tæringarþol gegn flestum sýrum og basum og CVD TaC húðun getur í raun komið í veg fyrir skemmdir á undirlaginu í ætandi umhverfi.

Hátt bræðslumarkTantalkarbíð hefur hátt bræðslumark (u.þ.b. 3880°C), sem gerir CVD TaC húðun kleift að nota við mjög háan hita án þess að bráðna eða brotna niður.

Frábær hitaleiðni: TaC húðun hefur mikla hitaleiðni, sem hjálpar til við að dreifa hita á áhrifaríkan hátt í háhitaferli og koma í veg fyrir staðbundna ofhitnun.

 

Hugsanlegar umsóknir:

 

• Gallíumnítríð (GaN) og kísilkarbíð epitaxial CVD reactor íhlutir, þ.mt oblátur, gervihnattadiskar, sturtuhausar, loft og susceptors

• Kísilkarbíð, gallíumnítríð og álnítríð (AlN) kristalvaxtarþættir þar á meðal deiglur, fræhaldarar, stýrihringir og síur

• Iðnaðaríhlutir, þ.mt mótstöðuhitaeiningar, innspýtingarstútar, grímuhringir og lóðajárn

 

Eiginleikar forrita:

 

• Hitastig stöðugt yfir 2000°C, sem gerir kleift að nota við háan hita
•Þolir vetni (Hz), ammoníaki (NH3), mónósílani (SiH4) og sílikoni (Si), sem veitir vernd í erfiðu efnaumhverfi
• Hitaáfallsþol hennar gerir hraðari notkunarlotur
• Grafít hefur sterka viðloðun, sem tryggir langan endingartíma og engin lagaflögun.
• Ofurmikill hreinleiki til að útrýma óþarfa óhreinindum eða aðskotaefnum
• Samræmd húðun með þéttum víddarvikmörkum

 

Tæknilegar upplýsingar:

 

Undirbúningur þéttrar tantalkarbíðhúðunar með CVD

 Tantalkarbíðhúð með CVD aðferð

TAC húðun með mikilli kristöllun og framúrskarandi einsleitni:

 TAC húðun með mikilli kristöllun og framúrskarandi einsleitni

 

 

CVD TAC COATING Tæknilegar breytur_Semicera:

 

Eðliseiginleikar TaC húðunar
Þéttleiki 14,3 (g/cm³)
Magnstyrkur 8 x 1015/cm
Sérstök losun 0.3
Varmaþenslustuðull 6.3 10-6/K
hörku (HK) 2000 kr
Magnviðnám 4,5 ohm-cm
Viðnám 1x10-5Óm* cm
Hitastöðugleiki <2500 ℃
Hreyfanleiki 237 cm2/Vs
Grafítstærð breytist -10~-20um
Húðunarþykkt ≥20um dæmigert gildi (35um+10um)

 

Ofangreind eru dæmigerð gildi.