TaC Coated Plate er sérhæfður diskur hannaður til notkunar í SiC epitaxial ferlum, unninn með nákvæmni úr hágæða grafítefni. Yfirborð þess er vandlega húðað með tantalkarbíði (TaC), efnasambandi sem er þekkt fyrir einstakan hreinleika og styrk. TaC húðunin eykur endingu plötunnar og viðnám gegn háum hita, sem gerir hana tilvalin fyrir krefjandi aðstæður SiC epitaxial ferla.
Þessi nýstárlega TaC húðuð plata er sérhæfður diskur hannaður til notkunar í SiC epitaxial ferlum, unninn með nákvæmni úr hágæða grafítefni. TaC Coated Plate yfirborðið er vandlega húðað með tantalkarbíði (TaC), efnasambandi sem er þekkt fyrir einstakan hreinleika og styrk. þjónar sem áreiðanlegur vettvangur til að bera oblátur á ýmsum stigum SiC epitaxial vaxtar. Háhreinn grafítgrunnur hans veitir stöðugt og óvirkt yfirborð, en TaC húðunin bætir aukalagi af vörn gegn efnahvörfum og sliti.
SemictímumTaC Coated Plate er sérsniðin í samræmi við sérstakar kröfur viðskiptavina, sem tryggir bestu frammistöðu og samhæfni við SiC epitaxial kerfi þeirra. Hvort sem það er stærð, lögun eða aðrar upplýsingar, eru þessar plötur sniðnar til að mæta einstökum þörfum hvers forrits.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
