Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Tantalkarbíðhúðuð skúffuberar eru mikið notaðir í vinnslu og meðhöndlun á flísum í hálfleiðara framleiðsluferlum. Þeir veita stöðugan stuðning og vernd til að tryggja öryggi, nákvæmni og samkvæmni obláta meðan á framleiðslu stendur. Tantalkarbíðhúð getur lengt endingartíma flutningsaðilans, dregið úr kostnaði og bætt gæði og áreiðanleika hálfleiðaravara.
Lýsing á tantalkarbíðhúðuðu oblátu burðarefni er sem hér segir:
1. Efnisval: Tantalkarbíð er efni með framúrskarandi frammistöðu, hár hörku, hátt bræðslumark, tæringarþol og framúrskarandi vélrænni eiginleika, svo það er mikið notað í hálfleiðara framleiðsluferli.
2. Yfirborðshúð: Tantalkarbíðhúð er borið á yfirborð obláta burðarefnisins með sérstöku húðunarferli til að mynda einsleita og þétta tantalkarbíðhúð. Þessi húðun getur veitt aukna vernd og slitþol, en hefur góða hitaleiðni.
3. Flatleiki og nákvæmni: Tantalkarbíðhúðuð obláta burðarefni hefur mikla flatleika og nákvæmni, sem tryggir stöðugleika og nákvæmni obláta meðan á framleiðsluferlinu stendur. Sléttleiki og frágangur yfirborðs burðarefnisins eru mikilvæg til að tryggja gæði og frammistöðu skífunnar.
4. Hitastigsstöðugleiki: Tantalkarbíðhúðaðar oblátur geta viðhaldið stöðugleika í háhitaumhverfi án aflögunar eða losunar, sem tryggir stöðugleika og samkvæmni obláta í háhitaferli.
5. Tæringarþol: Tantalkarbíðhúð hefur framúrskarandi tæringarþol, getur staðist veðrun efna og leysiefna og verndar burðarefnið gegn vökva- og gastæringu.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
