SemiceraTaC Coating Chuck, háþróaða tómarúmsspennan búin meðTaC húðun, sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraofna. Þessi nýstárlega tækni, sem er hönnuð til að mæta ströngum kröfum nútíma framleiðsluferla hálfleiðara, setur nýjan staðal fyrir nákvæmni, áreiðanleika og langlífi.
Kjarninn í framleiðslu hálfleiðara er mikilvæg þörf fyrir nákvæma stjórn og stöðugleika meðan á vinnslu stendur. TaC Coating Chuck tekur á þessari þörf með því að samþætta háþróaðaTaC (Tantalum Carbide) húðuná yfirborð þess, sem tryggir framúrskarandi hitastöðugleika, endingu og viðnám gegn efnatæringu. Þessi einstaka samsetning efna eykur ekki aðeins afköst spennunnar heldur lengir einnig endingartíma hennar, sem gefur stöðugan árangur yfir óteljandi lotur.
Einn af helstu kostum TaC Coating Chuck er hæfni hans til að viðhalda háu stigi lofttæmisheilleika í öllu vinnsluferlinu. Með því að lágmarka útgasun og mengun á áhrifaríkan hátt tryggir þessi tækni hreinleika og gæði hálfleiðaraefnanna, sem leiðir til betri afkastagetu og áreiðanleika tækisins.
Þar að auki, TaC Coating Chuck býður upp á óviðjafnanlega fjölhæfni, sem rúmar mikið úrval af hálfleiðara undirlagi með mismunandi stærðum og rúmfræði. Sérhannaðar hönnun TaC Coating Chuck gerir kleift að samþætta óaðfinnanlega inn í núverandi hálfleiðaraofnakerfi, lágmarka niður í miðbæ og hámarka framleiðni.
Með TaC Coating Chuck geta hálfleiðaraframleiðendur náð hærra afköstum, bættri ávöxtun og minni heildarkostnaði. Hvort sem það er í rannsóknarstofum eða framleiðslustöðvum í miklu magni, gerir þessi háþróaða tækni fagfólki í hálfleiðara kleift að ýta á mörk nýsköpunar á sama tíma og ströngum gæðastöðlum er viðhaldið.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
