Tantalkarbíðhúðuð grafítplataer grafít efni með þunnu lagi aftantalkarbíðá yfirborði undirlagsins. Þunnt lag af tantalkarbíði er venjulega myndað á yfirborði grafítundirlagsins með aðferðum eins og líkamlegri gufuútfellingu (PVD) eða efnagufuútfellingu (CVD). Þessi húðun hefur framúrskarandi eiginleika eins og mikla hörku, framúrskarandi slitþol, tæringarþol og stöðugleika við háan hita.
Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Eftir margra ára þróun hefur Semicera sigrað tæknina íCVD TaCmeð sameiginlegu átaki R&D deildarinnar. Auðvelt er að koma fram gallar í vaxtarferli SiC flísa, en eftir notkunTaC, munurinn er verulegur. Hér að neðan er samanburður á oblátum með og án TaC, sem og Simicera' hlutum fyrir einskristalvöxt.
Helstu kostir tantalkarbíðhúðaðrar grafítplötu eru:
1. Háhitaþol: Tantalkarbíð hefur hátt bræðslumark og framúrskarandi háhitastöðugleika, sem gerir húðuðu grafítplötuna hentugan til notkunar í háhitaumhverfi.
2. Tæringarþol: Tantalkarbíðhúð getur staðist veðrun margra efnafræðilegra ætandi efna og lengt endingartíma efnisins.
3. Há hörku: Há hörku tantalkarbíð þunnt lag veitir góða slitþol og er hentugur fyrir forrit sem krefjast mikillar slitþols.
4. Efnafræðilegur stöðugleiki: Tantalkarbíðhúð hefur framúrskarandi stöðugleika við efnatæringu og er hentugur til notkunar í sumum ætandi miðlum.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
