Tantalkarbíðhúðuð stuðningsplataer susceptor eða burðarvirki sem er þakið þunnu lagi aftantalkarbíð. Þessi húðun er hægt að mynda á yfirborði sýkla með aðferðum eins og eðlisfræðilegri gufuútfellingu (PVD) eða efnagufuútfellingu (CVD), sem gefur næfanum betri eiginleikatantalkarbíð.
Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Eftir margra ára þróun hefur Semicera sigrað tæknina íCVD TaCmeð sameiginlegu átaki R&D deildarinnar. Auðvelt er að koma fram gallar í vaxtarferli SiC flísa, en eftir notkunTaC, munurinn er verulegur. Hér að neðan er samanburður á oblátum með og án TaC, sem og Simicera' hlutum fyrir einskristalvöxt.
Helstu eiginleikar tantalkarbíðhúðaðra grunnstoðarplötum eru:
1. Háhitastöðugleiki: Tantalkarbíð hefur framúrskarandi háhitastöðugleika, sem gerir húðuðu grunnstoðplötuna hentuga fyrir stuðningsþarfir í vinnuumhverfi við háan hita.
2. Tæringarþol: Tantalkarbíðhúð hefur góða tæringarþol, getur staðist efnatæringu og oxun og lengt endingartíma grunnsins.
3. Mikil hörku og slitþol: Hátt hörku tantalkarbíðhúðunar gefur grunnstoðplötunni góða slitþol, sem hentar fyrir tilefni sem krefjast mikillar slitþols.
4. Efnafræðilegur stöðugleiki: Tantalkarbíð hefur mikla stöðugleika gagnvart ýmsum efnafræðilegum efnum, sem gerir húðuðu grunnstoðplötuna vel í sumum ætandi umhverfi.
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
