Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.
Grafít er frábært háhitaefni, en það oxast auðveldlega við háan hita. Jafnvel í tómarúmsofnum með óvirku gasi getur það samt gengist undir hæga oxun. Notkun CVD tantalkarbíð (TaC) húðunar getur á áhrifaríkan hátt verndað grafít undirlagið, sem veitir sömu háhitaþol og grafít. TaC er líka óvirkt efni, sem þýðir að það mun ekki hvarfast við lofttegundir eins og argon eða vetni við háan hita.FyrirspurnTantalkarbíð CVD húðun EPI susceptor núna!
með og án TaC
Eftir notkun TaC (hægri)
Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar:
