Tantalkarbíð (TaC) húðaður susceptor

Stutt lýsing:

Grafít er frábært háhitaefni, en það oxast auðveldlega við háan hita. Jafnvel í tómarúmsofnum með óvirku gasi getur það samt gengist undir hæga oxun. Notkun CVD tantalkarbíð (TaC) húðunar getur á áhrifaríkan hátt verndað grafít undirlagið, sem veitir sömu háhitaþol og grafít. TaC er líka óvirkt efni, sem þýðir að það mun ekki hvarfast við lofttegundir eins og argon eða vetni við háan hita.FyrirspurnTantalkarbíð (TaC) húðaður susceptor núna!

Sendu tölvupóst til okkar

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Semicera veitir sérhæfða tantalkarbíð (TaC) húðun fyrir ýmsa íhluti og burðarefni.Semcera leiðandi húðunarferli gerir tantalkarbíð (TaC) húðun kleift að ná miklum hreinleika, háhitastöðugleika og miklu efnaþoli, sem bætir vörugæði SIC/GAN kristalla og EPI laga (Grafíthúðaður TaC susceptor), og lengja endingu lykilhluta kjarnaofns. Notkun tantalkarbíðs TaC húðunar er til að leysa jaðarvandamálið og bæta gæði kristalvaxtar og Semicera hefur bylting leyst tantalkarbíðhúðunartækni (CVD) og hefur náð alþjóðlegu háþróuðu stigi.

Eftir margra ára þróun hefur Semicera sigrað tæknina íCVD TaCmeð sameiginlegu átaki R&D deildarinnar. Auðvelt er að koma fram galla í vaxtarferli SiC flísa, en eftir notkunTaC, munurinn er verulegur. Hér að neðan er samanburður á oblátum með og án TaC, sem og Simicera' hlutum fyrir einskristalvöxt.

Hár skilvirkni tantalkarbíð húðun_ bætir skilvirkni iðnaðarframleiðslu og lækkar viðhaldskostnað. Valin mynd

Tac hluti fyrir vöxt einn kristal

Antiwear tantal carbide húðun_ Ver búnað gegn sliti og tæringu. Valin mynd

Grafít með TaC húðuðum hring

með og án TaC

Eftir notkun TaC (hægri)

Þar að auki, Semicera'sTaC húðaðar vörursýna lengri endingartíma og meiri háhitaþol miðað viðSiC húðun.Rannsóknarstofumælingar hafa sýnt að okkarTaC húðungetur stöðugt framkvæmt við hitastig allt að 2300 gráður á Celsíus í langan tíma. Hér að neðan eru nokkur dæmi um sýnishorn okkar: