Semicera kynnirWafer Cassette Carrier, mikilvæg lausn fyrir örugga og skilvirka meðhöndlun á hálfleiðaraplötum. Þessi burðarbúnaður er hannaður til að uppfylla strangar kröfur hálfleiðaraiðnaðarins, sem tryggir vernd og heilleika diskanna þinna í gegnum framleiðsluferlið.
Helstu eiginleikar:
•Sterk smíði:TheWafer Cassette Carrierer byggt úr hágæða, endingargóðum efnum sem standast erfiðleika í hálfleiðaraumhverfi, sem veitir áreiðanlega vörn gegn mengun og líkamlegum skemmdum.
•Nákvæm jöfnun:Þessi burðarbúnaður er hannaður fyrir nákvæma uppröðun diska og tryggir að diskunum sé tryggilega haldið á sínum stað, sem lágmarkar hættuna á misstillingu eða skemmdum við flutning.
•Auðveld meðhöndlun:Vinnuvistfræðilega hannað til að auðvelda notkun, burðarbúnaðurinn einfaldar hleðslu- og affermingarferlið og bætir skilvirkni vinnuflæðis í hreinherbergi.
•Samhæfni:Samhæft við fjölbreytt úrval af oblátastærðum og gerðum, sem gerir það fjölhæft fyrir ýmsar hálfleiðaraframleiðsluþarfir.
Upplifðu óviðjafnanlega vernd og þægindi með Semicera'sWafer Cassette Carrier. Flytjandinn okkar er hannaður til að uppfylla ströngustu kröfur um hálfleiðaraframleiðslu, sem tryggir að diskarnir þínir haldist í óspilltu ástandi frá upphafi til enda. Treystu Semicera til að skila þeim gæðum og áreiðanleika sem þú þarft fyrir mikilvægustu ferla þína.
Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
Kristal færibreytur | |||
Fjöltýpa | 4H | ||
Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
Rafmagnsbreytur | |||
Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Vélrænar breytur | |||
Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
Þykkt | 350±25 μm | ||
Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
Aukaíbúð | Engin | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Uppbygging | |||
Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Gæði að framan | |||
Framan | Si | ||
Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
Lasermerking að framan | Engin | ||
Aftur gæði | |||
Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Umbúðir | |||
Umbúðir | Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. |