Wafer Cassette Carrier

Stutt lýsing:

Wafer Cassette Carrier- Tryggðu öruggan og skilvirkan flutning á diskunum þínum með Semicera's Wafer Cassette Carrier, hannað fyrir hámarksvörn og auðvelda meðhöndlun í hálfleiðaraframleiðslu.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Semicera kynnirWafer Cassette Carrier, mikilvæg lausn fyrir örugga og skilvirka meðhöndlun á hálfleiðaraplötum. Þessi burðarbúnaður er hannaður til að uppfylla strangar kröfur hálfleiðaraiðnaðarins, sem tryggir vernd og heilleika diskanna þinna í gegnum framleiðsluferlið.

 

Helstu eiginleikar:

Sterk smíði:TheWafer Cassette Carrierer byggt úr hágæða, endingargóðum efnum sem standast erfiðleika í hálfleiðaraumhverfi, sem veitir áreiðanlega vörn gegn mengun og líkamlegum skemmdum.

Nákvæm jöfnun:Þessi burðarbúnaður er hannaður fyrir nákvæma uppröðun diska og tryggir að diskunum sé tryggilega haldið á sínum stað, sem lágmarkar hættuna á misstillingu eða skemmdum við flutning.

Auðveld meðhöndlun:Vinnuvistfræðilega hannað til að auðvelda notkun, burðarbúnaðurinn einfaldar hleðslu- og affermingarferlið og bætir skilvirkni vinnuflæðis í hreinherbergi.

Samhæfni:Samhæft við fjölbreytt úrval af oblátastærðum og gerðum, sem gerir það fjölhæft fyrir ýmsar hálfleiðaraframleiðsluþarfir.

 

Upplifðu óviðjafnanlega vernd og þægindi með Semicera'sWafer Cassette Carrier. Flytjandinn okkar er hannaður til að uppfylla ströngustu kröfur um hálfleiðaraframleiðslu, sem tryggir að diskarnir þínir haldist í óspilltu ástandi frá upphafi til enda. Treystu Semicera til að skila þeim gæðum og áreiðanleika sem þú þarft fyrir mikilvægustu ferla þína.

Atriði

Framleiðsla

Rannsóknir

Dúlla

Kristal færibreytur

Fjöltýpa

4H

Villa í yfirborðsstefnu

<11-20 >4±0,15°

Rafmagnsbreytur

Dopant

n-gerð köfnunarefnis

Viðnám

0,015-0,025 ohm·cm

Vélrænar breytur

Þvermál

150,0±0,2 mm

Þykkt

350±25 μm

Aðal flata stefnumörkun

[1-100]±5°

Aðal flat lengd

47,5±1,5 mm

Aukaíbúð

Engin

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Boga

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Undið

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Grófleiki að framan (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Uppbygging

Örpípuþéttleiki

<1 ea/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Óhreinindi úr málmi

≤5E10atóm/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Gæði að framan

Framan

Si

Yfirborðsfrágangur

Si-andlit CMP

Agnir

≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm)

NA

Rispur

≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál

Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun

Engin

NA

Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur

Engin

Fjölgerð svæði

Engin

Uppsafnað flatarmál≤20%

Uppsafnað flatarmál≤30%

Lasermerking að framan

Engin

Aftur gæði

Afturfrágangur

C-andlit CMP

Rispur

≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Bakgallar (kantflísar/innskot)

Engin

Grófur bak

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermerking að aftan

1 mm (frá efstu brún)

Edge

Edge

Chamfer

Umbúðir

Umbúðir

Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum

Multi-wafer kassettu umbúðir

*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD.

tækni_1_2_stærð
SiC oblátur

  • Fyrri:
  • Næst: