Armur til að meðhöndla obláturer lykilbúnaður sem notaður er í hálfleiðara framleiðsluferlinu til að meðhöndla, flytja og staðsetjaoblátur. Það samanstendur venjulega af vélfærahandlegg, grip og stjórnkerfi, með nákvæma hreyfingu og staðsetningargetu.Armar til að meðhöndla oblátureru mikið notaðar í ýmsum hlekkjum í hálfleiðaraframleiðslu, þar á meðal ferlisþrepum eins og hleðslu obláta, hreinsun, þunnfilmuútfellingu, ætingu, steinþrykk og skoðun. Nákvæmni, áreiðanleiki og sjálfvirkni getu þess eru nauðsynleg til að tryggja gæði, skilvirkni og samræmi í framleiðsluferlinu.
Helstu aðgerðir obláta meðhöndlunararmsins eru:
1. Oblátaflutningur: Meðhöndlunararmurinn fyrir oblátur er fær um að flytja oblátur nákvæmlega frá einum stað til annars, svo sem að taka oblátur úr geymslurekki og setja þær í vinnslutæki.
2. Staðsetning og stefnumörkun: Meðhöndlunararmurinn er fær um að staðsetja og stilla diskinn nákvæmlega til að tryggja rétta röðun og staðsetningu fyrir síðari vinnslu eða mælingar.
3. Klemning og losun: Armar meðhöndlunar á oblátum eru venjulega búnir gripum sem geta örugglega klemmt oblátur og losað þær þegar þörf krefur til að tryggja örugga flutning og meðhöndlun á oblátum.
4. Sjálfvirk stjórnun: Wafer meðhöndlun armur er búinn háþróaðri stjórnkerfi sem getur sjálfkrafa framkvæmt fyrirfram ákveðnar aðgerðarraðir, bætt framleiðslu skilvirkni og dregið úr mannlegum mistökum.
Einkenni og kostir
1.Nákvæm mál og hitastöðugleiki.
2.High sérstakur stífni og framúrskarandi hitauppstreymi einsleitni, langtíma notkun er ekki auðvelt að beygja aflögun.
3.Það hefur slétt yfirborð og góða slitþol, þannig að meðhöndla flísina á öruggan hátt án agnamengunar.
4.Kísilkarbíðviðnám í 106-108Ω, ekki segulmagnaðir, í samræmi við kröfur um and-ESD forskrift; Það getur komið í veg fyrir uppsöfnun stöðurafmagns á yfirborði flísarinnar.
5.Góð hitaleiðni, lítill stækkunarstuðull.
