Kísilkarbíð (SiC) einkristalla efni hefur stóra bandbilsbreidd (~Si 3 sinnum), mikla hitaleiðni (~Si 3,3 sinnum eða GaAs 10 sinnum), háan rafeindamettunarflæðishraða (~Si 2,5 sinnum), hár niðurbrot rafmagns sviði (~Si 10 sinnum eða GaAs 5 sinnum) og aðrir framúrskarandi eiginleikar.
Þriðja kynslóðar hálfleiðaraefni innihalda aðallega SiC, GaN, demantur osfrv., Vegna þess að breidd bandbilsins (Td) er meiri en eða jöfn 2,3 rafeindavoltum (eV), einnig þekkt sem hálfleiðaraefni með breitt bandbil. Í samanburði við fyrstu og annarrar kynslóðar hálfleiðaraefni hafa þriðju kynslóðar hálfleiðaraefni kosti mikillar varmaleiðni, hátt niðurbrots rafsviðs, mikils mettaðs rafeindaflutningshraða og mikillar bindingarorku, sem getur uppfyllt nýjar kröfur nútíma rafeindatækni fyrir mikla hitastig, mikið afl, háþrýsting, hátíðni og geislunarþol og aðrar erfiðar aðstæður. Það hefur mikilvægar umsóknarhorfur á sviði landvarna, flugs, geimferða, olíuleitar, sjóngeymslu osfrv., og getur dregið úr orkutapi um meira en 50% í mörgum stefnumótandi atvinnugreinum eins og breiðbandssamskiptum, sólarorku, bílaframleiðslu, hálfleiðaralýsing, og snjallnet, og getur dregið úr rúmmáli búnaðar um meira en 75%, sem hefur tímamótaþýðingu fyrir þróun mannvísinda og tækni.
Semicera orka getur veitt viðskiptavinum hágæða leiðandi (leiðandi), hálfeinangrandi (hálfeinangrandi), HPSI (High Purity hálfeinangrandi) sílikonkarbíð undirlag; Að auki getum við útvegað viðskiptavinum einsleitar og misleitar kísilkarbíð þekjublöð; Við getum líka sérsniðið epitaxial blaðið í samræmi við sérstakar þarfir viðskiptavina og það er ekkert lágmarks pöntunarmagn.
LEIÐBEININGAR VÖFLU
*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi
Atriði | 8 tommu | 6 tommu | 4-tommu | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Algert gildi | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
FLUTNINGUR
*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi
Atriði | 8 tommu | 6 tommu | 4-tommu | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Yfirborðsfrágangur | Tvíhliða Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Yfirborðsgrófleiki | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm C-Face Ra≤ 0,5nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm C-Face Ra≤0,5nm | |||
Edge Chips | Ekkert leyfilegt (lengd og breidd ≥0,5 mm) | ||||
Inndráttur | Ekkert leyfilegt | ||||
Rispur (Si-Face) | Magn.≤5, Uppsafnað Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar | Magn.≤5, Uppsafnað Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar | Magn.≤5, Uppsafnað Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar | ||
Sprungur | Ekkert leyfilegt | ||||
Edge útilokun | 3 mm |