SiC húðaðurGrafít hálfmáni hlutier lykilþáttur sem notaður er í hálfleiðara framleiðsluferlum, sérstaklega fyrir SiC epitaxial búnað.Við notum einkaleyfistækni okkar til að búa til hálfmánahlutann með einstaklega miklum hreinleika, góðri einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, auk mikillar efnaþols og hitastöðugleika.