Blár/grænn LED-epitaxy frá semicera býður upp á háþróaða lausnir fyrir hágæða LED-framleiðslu. Hönnuð til að styðja við háþróaða epitaxial vaxtarferli, semicera's Blue/Green LED epitaxy tækni eykur skilvirkni og nákvæmni við framleiðslu bláa og græna LED, sem eru mikilvægir fyrir ýmis ljós rafeindatækni. Með því að nota nýjustu Si Epitaxy og SiC Epitaxy tryggir þessi lausn framúrskarandi gæði og endingu.
Í framleiðsluferlinu gegnir MOCVD Susceptor mikilvægu hlutverki ásamt íhlutum eins og PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier og RTP Carrier, sem hámarka vaxtarumhverfið. Bláa/græna LED epitaxy Semicera er hannað til að veita stöðugan stuðning við LED Epitaxial susceptor, Barrel sceptor og Monocrystalline Silicon, sem tryggir framleiðslu á stöðugum, hágæða niðurstöðum.
Þetta epitaxy ferli er mikilvægt til að búa til Photovoltaic Parts og styður forrit eins og GaN á SiC Epitaxy, sem bætir heildar skilvirkni hálfleiðara. Hvort sem það er í Pancake Susceptor uppsetningu eða notað í öðrum háþróaðri uppsetningu, bjóða Blá/græn LED epitaxy lausnir semicera áreiðanlega frammistöðu, sem hjálpar framleiðendum að mæta vaxandi eftirspurn eftir hágæða LED íhlutum.
Helstu eiginleikar:
1. Oxunarþol við háan hita:
oxunarþolið er enn mjög gott þegar hitastigið er allt að 1600 C.
2. Hár hreinleiki: gert með efnagufuútfellingu við háhita klórunarskilyrði.
3. Rofþol: mikil hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
4. Tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
Helstu upplýsingar umCVD-SIC húðun
| SiC-CVD eiginleikar | ||
| Kristal uppbygging | FCC β fasi | |
| Þéttleiki | g/cm ³ | 3.21 |
| hörku | Vickers hörku | 2500 |
| Kornastærð | μm | 2~10 |
| Efnafræðilegur hreinleiki | % | 99.99995 |
| Hitageta | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation Hitastig | ℃ | 2700 |
| Felexural styrkur | MPa (RT 4 punkta) | 415 |
| Young's Modulus | GPA (4pt beygja, 1300 ℃) | 430 |
| Varmaþensla (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Varmaleiðni | (W/mK) | 300 |
