【Yfirlitslýsing】 Í nútíma C, N, B og öðrum óoxíð hátækni eldföstum hráefnum er hertu kísilkarbíð í andrúmsloftsþrýstingi umfangsmikið og hagkvæmt og má segja að það sé smergel eða eldfastur sandur.Hreint kísilkarbíð er litlaus gagnsæ kristal.Svo hver er efnisbygging og eiginleikar kísilkarbíðs?
Efnisbygging hertu kísilkarbíðs í andrúmsloftsþrýstingi:
Hertu kísilkarbíðið í andrúmsloftinu sem notað er í iðnaði er ljósgult, grænt, blátt og svart í samræmi við gerð og innihald óhreininda, og hreinleiki er öðruvísi og gagnsæi er öðruvísi.Kísilkarbíð kristalbyggingin er skipt í sex orða eða tígullaga plútóníum og teningaplútoníum-sic.Plútóníum-sic myndar margs konar aflögun vegna mismunandi stöflunarröð kolefnis og kísilatóma í kristalbyggingunni og meira en 70 tegundir af aflögun hafa fundist.beta-SIC breytist í alfa-SIC yfir 2100. Iðnaðarferli kísilkarbíðs er hreinsað með hágæða kvarssandi og jarðolíukoki í mótstöðuofni.Hreinsaðir kísilkarbíðblokkir eru muldir, sýru-basa hreinsun, segulmagnaðir aðskilnaður, skimun eða vatnsval til að framleiða margs konar kornastærðarvörur.
Efniseiginleikar hertu kísilkarbíðs í andrúmsloftsþrýstingi:
Kísilkarbíð hefur góðan efnafræðilegan stöðugleika, hitaleiðni, varmaþenslustuðul, slitþol, svo auk slípiefnisnotkunar eru margar notkunaraðferðir: Til dæmis er kísilkarbíðduftið húðað á innri vegg túrbínuhjólsins eða strokkablokkarinnar með sérstakt ferli, sem getur bætt slitþol og lengt líftíma 1 til 2 sinnum.Gerð úr hitaþolnu, lítilli stærð, léttum, hár styrkur hágæða eldföstum efnum, orkunýtni er mjög góð.Lággæða kísilkarbíð (þar á meðal um 85% SiC) er frábært afoxunarefni til að auka stálframleiðsluhraða og auðveldlega stjórna efnasamsetningu til að bæta stálgæði.Að auki er hertu kísilkarbíð í andrúmsloftsþrýstingi einnig mikið notað við framleiðslu á rafmagnshlutum úr kísilkolefnisstöngum.
Kísilkarbíð er mjög erfitt.Morse hörku er 9,5, næst á eftir harða demanti heimsins (10), er hálfleiðari með framúrskarandi hitaleiðni, þolir oxun við háan hita.Kísilkarbíð hefur að minnsta kosti 70 kristallaðar tegundir.Plútóníum-kísilkarbíð er algeng hverfa sem myndast við hitastig yfir 2000 og hefur sexhyrnda kristalla uppbyggingu (svipað og wurtzite).Hertað kísilkarbíð undir loftþrýstingi
Notkun kísilkarbíðs í hálfleiðaraiðnaði
Kísilkarbíð hálfleiðara iðnaður keðja inniheldur aðallega kísilkarbíð háhreint duft, einkristal hvarfefni, epitaxial lak, aflhlutar, mátapökkun og endabúnað.
1. Einkristal hvarfefni Einkristal hvarfefni er hálfleiðara burðarefni, leiðandi efni og epitaxial vöxtur undirlag.Sem stendur eru vaxtaraðferðir SiC einkristalla meðal annars eðlisfræðileg gufuflutningsaðferð (PVT aðferð), fljótandi fasa aðferð (LPE aðferð) og háhita efna gufuútfellingaraðferð (HTCVD aðferð).Hertað kísilkarbíð undir loftþrýstingi
2. Epitaxial lak Silicon carbide epitaxial lak, kísilkarbíð lak, einkristalfilm (epitaxial lag) með sömu stefnu og undirlagskristallinn sem hefur ákveðnar kröfur um kísilkarbíð undirlagið.Í hagnýtri notkun eru hálfleiðaratæki með breitt bandbil næstum öll framleidd í epitaxial laginu og kísilflísinn sjálfur er aðeins notaður sem undirlag, þar með talið undirlag GaN epitaxial lagsins.
3. Háhreint kísilkarbíðduft Háhreint kísilkarbíðduft er hráefnið til vaxtar kísilkarbíðs einkristalls með PVT aðferð og hreinleiki vörunnar hefur bein áhrif á vaxtargæði og rafmagnseiginleika kísilkarbíðs einkristalls.
4. Aflbúnaðurinn er breiðbandafl úr kísilkarbíðefni, sem hefur einkenni háhita, hátíðni og mikils skilvirkni.Samkvæmt rekstrarformi tækisins inniheldur SiC aflgjafabúnaðurinn aðallega afldíóða og aflrofarör.
5. Terminal Í þriðju kynslóðar hálfleiðurum hafa kísilkarbíð hálfleiðarar þann kost að vera viðbót við gallíumnítríð hálfleiðara.Vegna mikillar umbreytingarnýtni, lágrar upphitunareiginleika, léttra og annarra kosta SiC tækja heldur eftirspurn eftir iðnaðariðnaðinum áfram að aukast og það er tilhneiging til að skipta um SiO2 tæki.
Pósttími: 16-okt-2023