Semicerakynnir hágæða sínaSi Epitaxyþjónustu, hönnuð til að uppfylla ströng staðla hálfleiðaraiðnaðar nútímans. Epitaxial sílikonlög eru mikilvæg fyrir frammistöðu og áreiðanleika rafeindatækja og Si Epitaxy lausnir okkar tryggja að íhlutir þínir nái hámarksvirkni.
Nákvæmni ræktuð sílikonlög Semiceraskilur að grunnurinn að afkastamiklum tækjum liggur í gæðum efna sem notuð eru. OkkarSi Epitaxyferli er nákvæmlega stjórnað til að framleiða sílikonlög með einstakri einsleitni og kristalheilleika. Þessi lög eru nauðsynleg fyrir forrit, allt frá örraeindatækni til háþróaðra raforkutækja, þar sem samræmi og áreiðanleiki eru í fyrirrúmi.
Fínstillt fyrir afköst tækisinsTheSi Epitaxyþjónusta sem Semicera býður upp á er sérsniðin til að auka rafmagnseiginleika tækjanna þinna. Með því að rækta háhrein kísillög með lágum gallaþéttleika tryggjum við að íhlutir þínir skili sínu besta, með bættri hreyfanleika burðarefnis og lágmarks rafviðnám. Þessi hagræðing er mikilvæg til að ná þeim háhraða- og skilvirknieiginleikum sem nútímatækni krefst.
Fjölhæfni í forritum Semicera'sSi Epitaxyer hentugur fyrir margs konar notkun, þar á meðal framleiðslu á CMOS smára, afl MOSFETs og tvískauta samskeytum. Sveigjanlegt ferli okkar gerir kleift að sérsníða út frá sérstökum kröfum verkefnisins þíns, hvort sem þú þarft þunn lög fyrir hátíðniforrit eða þykkari lög fyrir rafmagnstæki.
Frábær efnisgæðiGæði eru kjarninn í öllu sem við gerum hjá Semicera. OkkarSi Epitaxyferli notar nýjustu búnað og tækni til að tryggja að hvert sílikonlag uppfylli ströngustu kröfur um hreinleika og burðarvirki. Þessi athygli á smáatriðum lágmarkar tilvik galla sem gætu haft áhrif á afköst tækisins, sem leiðir til áreiðanlegri og endingargóðari íhluta.
Skuldbinding til nýsköpunar Semicerahefur skuldbundið sig til að vera í fremstu röð í hálfleiðaratækni. OkkarSi EpitaxyÞjónusta endurspeglar þessa skuldbindingu og inniheldur nýjustu framfarir í vaxtartækni. Við betrumbætum stöðugt ferla okkar til að afhenda sílikonlög sem mæta vaxandi þörfum iðnaðarins og tryggja að vörur þínar haldist samkeppnishæfar á markaðnum.
Sérsniðnar lausnir fyrir þínar þarfirAð skilja að hvert verkefni er einstakt,Semiceratilboð sérsniðinSi Epitaxylausnir sem passa við sérstakar þarfir þínar. Hvort sem þú þarft sérstaka lyfjaprófíl, lagþykkt eða yfirborðsáferð vinnur teymið okkar náið með þér til að afhenda vöru sem uppfyllir nákvæmar forskriftir þínar.
Atriði | Framleiðsla | Rannsóknir | Dúlla |
Kristal færibreytur | |||
Fjöltýpa | 4H | ||
Villa í yfirborðsstefnu | <11-20 >4±0,15° | ||
Rafmagnsbreytur | |||
Dopant | n-gerð köfnunarefnis | ||
Viðnám | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Vélrænar breytur | |||
Þvermál | 150,0±0,2 mm | ||
Þykkt | 350±25 μm | ||
Aðal flata stefnumörkun | [1-100]±5° | ||
Aðal flat lengd | 47,5±1,5 mm | ||
Aukaíbúð | Engin | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Boga | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Undið | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Grófleiki að framan (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Uppbygging | |||
Örpípuþéttleiki | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Óhreinindi úr málmi | ≤5E10atóm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Gæði að framan | |||
Framan | Si | ||
Yfirborðsfrágangur | Si-andlit CMP | ||
Agnir | ≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm) | NA | |
Rispur | ≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál | Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál | NA |
Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun | Engin | NA | |
Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur | Engin | ||
Fjölgerð svæði | Engin | Uppsafnað flatarmál≤20% | Uppsafnað flatarmál≤30% |
Lasermerking að framan | Engin | ||
Aftur gæði | |||
Afturfrágangur | C-andlit CMP | ||
Rispur | ≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál | NA | |
Bakgallar (kantflísar/innskot) | Engin | ||
Grófur bak | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking að aftan | 1 mm (frá efstu brún) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Umbúðir | |||
Umbúðir | Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum Multi-wafer kassettu umbúðir | ||
*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD. |