Lýsing
SiC húðuð grafít susceptors frá Semicera eru hönnuð með hágæða grafít hvarfefni, sem eru vandlega húðuð með kísilkarbíði (SiC) í gegnum háþróaða Chemical Vapor Deposition (CVD) ferla. Þessi nýstárlega hönnun tryggir einstaka viðnám gegn hitaáfalli og efnafræðilegum niðurbroti, lengir verulega endingartíma SiC húðaða grafítþolans og tryggir áreiðanlega frammistöðu í gegnum hálfleiðaraframleiðsluferlið.
Helstu eiginleikar:
1. Frábær hitaleiðniSiC húðaður grafít susceptor sýnir framúrskarandi hitaleiðni, sem er lykilatriði fyrir skilvirka hitaleiðni við hálfleiðaraframleiðslu. Þessi eiginleiki lágmarkar varmahalla á yfirborði skífunnar og stuðlar að samræmdri hitadreifingu sem er nauðsynleg til að ná tilætluðum eiginleikum hálfleiðara.
2. Sterk efna- og hitaáfallsþolSiC húðunin veitir ógurlega vörn gegn efnatæringu og hitaáfalli og viðheldur heilleika grafítþolans jafnvel í erfiðu vinnsluumhverfi. Þessi aukna ending dregur úr niður í miðbæ og lengir líftímann, sem stuðlar að aukinni framleiðni og kostnaðarhagkvæmni í hálfleiðaraframleiðslustöðvum.
3. Sérsnið fyrir sérstakar þarfirHægt er að sníða SiC húðuð grafít susceptors til að uppfylla sérstakar kröfur og óskir. Við bjóðum upp á úrval af sérsniðnum valkostum, þar á meðal stærðaraðlögun og afbrigði í húðþykkt, til að tryggja sveigjanleika í hönnun og hámarksafköst fyrir mismunandi forrit og ferlibreytur.
Umsóknir:
NotkunSemicera SiC húðun er notuð á ýmsum stigum hálfleiðaraframleiðslu, þar á meðal:
1. -LED Chip Framleiðsla
2. -Pólýkísilframleiðsla
3. -Hálleiðari kristalvöxtur
4. -Silicon and SiC Epitaxy
5. -Hermaoxun og dreifing (TO&D)
Tæknilýsing:
