Silicon Carbide Epitaxy

Stutt lýsing:

Silicon Carbide Epitaxy- Hágæða epitaxial lög sérsniðin fyrir háþróaða hálfleiðara notkun, bjóða upp á yfirburða afköst og áreiðanleika fyrir rafeindatækni og ljósabúnað.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

SemiceraSilicon Carbide Epitaxyer hannað til að mæta ströngum kröfum nútíma hálfleiðaraforrita. Með því að nota háþróaða epitaxial vaxtartækni, tryggjum við að hvert kísilkarbíðlag sýni einstök kristallagæði, einsleitni og lágmarks gallaþéttleika. Þessir eiginleikar skipta sköpum til að þróa afkastamikil rafeindatækni, þar sem skilvirkni og hitastjórnun eru í fyrirrúmi.

TheSilicon Carbide Epitaxyferlið hjá Semicera er fínstillt til að framleiða epitaxial lög með nákvæmri þykkt og lyfjaeftirlit, sem tryggir stöðuga frammistöðu í ýmsum tækjum. Þetta nákvæmnistig er nauðsynlegt fyrir notkun í rafknúnum ökutækjum, endurnýjanlegum orkukerfum og hátíðnisamskiptum, þar sem áreiðanleiki og skilvirkni eru mikilvæg.

Þar að auki, Semicera'sSilicon Carbide Epitaxybýður upp á aukna hitaleiðni og hærri niðurbrotsspennu, sem gerir það að vali fyrir tæki sem starfa við erfiðar aðstæður. Þessir eiginleikar stuðla að lengri endingartíma tækisins og bættri heildarnýtni kerfisins, sérstaklega í umhverfi með miklum krafti og háum hita.

Semicera býður einnig upp á aðlögunarvalkosti fyrirSilicon Carbide Epitaxy, sem gerir ráð fyrir sérsniðnum lausnum sem uppfylla sérstakar kröfur um tæki. Hvort sem það er fyrir rannsóknir eða umfangsmikla framleiðslu, eru epitaxial lögin okkar hönnuð til að styðja við næstu kynslóð hálfleiðara nýjunga, sem gerir þróun öflugri, skilvirkari og áreiðanlegri rafeindatækja kleift.

Með því að samþætta háþróaða tækni og ströng gæðaeftirlitsferli, tryggir Semicera að okkarSilicon Carbide Epitaxyvörur uppfylla ekki aðeins heldur fara yfir iðnaðarstaðla. Þessi skuldbinding um ágæti gerir þekjulögin okkar að kjörnum grunni fyrir háþróaða hálfleiðaraforrit, sem ryður brautina fyrir bylting í rafeindatækni og ljósatækni.

Atriði

Framleiðsla

Rannsóknir

Dúlla

Kristal færibreytur

Fjöltýpa

4H

Villa í yfirborðsstefnu

<11-20 >4±0,15°

Rafmagnsbreytur

Dopant

n-gerð köfnunarefnis

Viðnám

0,015-0,025 ohm·cm

Vélrænar breytur

Þvermál

150,0±0,2 mm

Þykkt

350±25 μm

Aðal flata stefnumörkun

[1-100]±5°

Aðal flat lengd

47,5±1,5 mm

Aukaíbúð

Engin

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Boga

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Undið

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Grófleiki að framan (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Uppbygging

Örpípuþéttleiki

<1 ea/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Óhreinindi úr málmi

≤5E10atóm/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Gæði að framan

Framan

Si

Yfirborðsfrágangur

Si-andlit CMP

Agnir

≤60ea/oblátur (stærð≥0,3μm)

NA

Rispur

≤5ea/mm. Uppsöfnuð lengd ≤Þvermál

Uppsöfnuð lengd≤2*Þvermál

NA

Appelsínubörkur/holur/blettir/rákir/ sprungur/mengun

Engin

NA

Kantflísar/inndráttur/brot/sexplötur

Engin

Fjölgerð svæði

Engin

Uppsafnað flatarmál≤20%

Uppsafnað flatarmál≤30%

Lasermerking að framan

Engin

Aftur gæði

Afturfrágangur

C-andlit CMP

Rispur

≤5ea/mm, uppsöfnuð lengd ≤2*Þvermál

NA

Bakgallar (kantflísar/innskot)

Engin

Grófur bak

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermerking að aftan

1 mm (frá efstu brún)

Edge

Edge

Chamfer

Umbúðir

Umbúðir

Epi-tilbúin með lofttæmandi umbúðum

Multi-wafer kassettu umbúðir

*Athugasemdir: „NA“ þýðir engin beiðni Hlutir sem ekki eru nefndir geta átt við SEMI-STD.

tækni_1_2_stærð
SiC oblátur

  • Fyrri:
  • Næst: