Hitaoxíðlag kísilskúffu er oxíðlag eða kísillag sem myndast á beru yfirborði kísilskífunnar við háhitaskilyrði með oxunarefni.Hitaoxíðlagið af kísilskúffu er venjulega ræktað í láréttum rörofni og vaxtarhitastigið er almennt 900 ° C ~ 1200 ° C, og það eru tveir vaxtarhættir "blautoxun" og "þurr oxun".Hitaoxíðlagið er "vaxið" oxíðlag sem hefur meiri einsleitni og meiri rafstyrk en CVD-afsett oxíðlagið.Hitaoxíðlagið er frábært dielectric lag sem einangrunarefni.Í mörgum tækjum sem byggjast á sílikon gegnir hitaoxíðlagið mikilvægu hlutverki sem lyfjablokkandi lag og yfirborðsrafmagn.
Ábendingar: Gerð oxunar
1. Þurroxun
Kísillinn hvarfast við súrefni og oxíðlagið færist í átt að grunnlaginu.Þurroxun þarf að fara fram við hitastig 850 til 1200 ° C og vaxtarhraði er lágt, sem hægt er að nota fyrir MOS einangrunarhlið vöxt.Þegar hágæða, ofurþunnt kísiloxíðlag er krafist, er þurr oxun valin fram yfir blaut oxun.
Þurroxunargeta: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Blaut oxun
Þessi aðferð notar blöndu af vetni og háhreinu súrefni til að brenna við ~1000 ° C og mynda þannig vatnsgufu til að mynda oxíðlag.Þó blaut oxun geti ekki framleitt eins hágæða oxunarlag og þurr oxun, en nóg til að nota sem einangrunarsvæði, samanborið við þurr oxun hefur skýr kostur er að það hefur meiri vaxtarhraða.
Blautoxunargeta: 50nm~ 15µm (500A ~15µm)
3. Þurr aðferð - blaut aðferð - þurr aðferð
Í þessari aðferð er hreinu þurru súrefni hleypt út í oxunarofninn á upphafsstigi, vetni bætt við í miðri oxuninni og vetni geymt í lokin til að halda áfram oxuninni með hreinu þurru súrefni til að mynda þéttari oxunarbyggingu en algengt blautoxunarferli í formi vatnsgufu.
4. TEOS oxun
| Oxunartækni | Blaut oxun eða þurr oxun |
| Þvermál | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Oxíðþykkt | 100 Å ~ 15µm |
| Umburðarlyndi | +/- 5% |
| Yfirborð | Einhliða oxun (SSO) / Tvíhliða oxun (DSO) |
| Ofn | Láréttur rör ofn |
| Gas | Vetni og súrefnisgas |
| Hitastig | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Brotstuðull | 1.456 |
